刻蚀设备快速放量，公司毛利率显著提升。公司公告2022 年一季报，2022 年Q1，公司营收9.49 亿元，YoY+57.31%。其中，刻蚀设备收入7.14 亿元，YoY+105.03%，得益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，刻蚀设备快速放量；MOCVD 设备收入0.42 亿元，YoY-68.59%，主要原因为公司Mini LED MOCVD 设备的新签规模订单尚未确认收入。

    扣非后归母净利润1.86 亿元，YoY+1578%，主要得益于公司收入规模的扩大和毛利率的显著提升（YoY+4.55pct）。归母净利润1.17 亿元，YoY-14.94%，主要受非经常损益影响。非经常损益的变动主要为政府补助同比减少1.65 亿元，以及公司持有的中芯国际、天岳先进股票导致的公允价值变动损失1.01 亿元。

    刻蚀和MOCVD 设备市场拓展稳步推进，多元化布局不断完善。公司CCP 设备继续保持领先地位，在5nm 逻辑产线和128 层3D NAND 产线广泛应用并获得重复订单，市占率持续提升；公司ICP 设备加速起量，相关刻蚀产品已在超过15 家客户的生产线上进行100 多个ICP 刻蚀工艺的验证，并稳步推进进行下一代ICP 刻蚀产品的技术研发。

    MOCVD 设备方面，公司已成为GaN 基LED 市场份额最大的MOCVD设备供应商，Mini LED 用Prismo UniMax　　MOCVD 设备已获兆驰股份52 腔采购订单，截至2022 年一季度，公司该设备订单已超180 腔。新业务方面，公司新开发的LPCVD 钨沉积设备可满足先进逻辑和128 层3D NAND 等多个关键应用，且公司也在布局EPI、ALD 设备，以满足客户在的新技术节点对沉积设备的需求。公司兼顾外延发展，对睿励仪器的投资有望进一步巩固产业链协同效应，不断完善公司业务布局。

    盈利预测与投资建议。预计公司22-24 年收入为44.15/60.55/78.77 亿元，维持合理价值为137.2 元/股的观点不变，维持“买入”评级。

    风险提示：下游投资波动风险；供应链产能紧张风险；知识产权风险。