公司2022Q1 实现营业收入9.49 亿元，同比增长 57.31%；实现归母净利润1.17 亿元，同比减少14.94%；实现扣非净利润1.86 亿元，同比增长1578.18%;实现基本每股收益为0.19 元，同比减少26.92%。

    支撑评级的要点

    刻蚀设备业务大涨，新产品新技术陆续通过验证。受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，2022Q1 刻蚀设备收入为 7.14 亿元，较上年同期增长约 105.03%。公司的ICP 技术在强大的研发支持下日渐成熟。

    Primo nanova ICP 刻蚀产品已经在超过 15 家客户的生产线上进行 100 多个 ICP 刻蚀工艺的验证。2021 年 3 月，公司研发并推出的具有高输出率特点的双反应台 ICP 刻蚀设备 Primo Twin-Star 刻蚀设备，已经在国内领先的客户生产线上完成认证，并收到更多国内客户的订单。

    MiniLED 新设备收到大量订单，规模订单尚未确认收入。2022Q1 公司新签署的 Mini LED MOCVD 设备规模订单尚未确认收入，MOCVD 设备本期收入为 0.42 亿元，较上年同期下降约 68.59%。根据年报，公司去年新发布的 MiniLED MOCVD 设备 Prismo UniMax 年底订单超 100 腔，到今年 3 月底订单累计已超 180 腔。公司接下来将陆续确认MOCVD 收入，预计下半年公司MOCVD 收入将有序增长。

    毛利率、扣非净利率显著提升，净利润同比减少系非经常损益变动。

    2022Q1 毛利率从去年的 40.92%增长至 45.47%，增加 4.55 个百分点，扣非净利吕从去年一季度2%提高至本季度20%。本季度扣非净利润相比同期增加 1.75 亿元，但归母净利润有所减少主要因本期非经常性损益为亏损0.69 亿 元，较去年同期的非经营盈利 1.27 亿元减少了约 1.96 亿元，因此本期归母净利润较上年同期减少约 0.21 亿元，下降约 14.94%。

    盈利预测及评级

    鉴于公司刻蚀设备业务收入大涨，且 MOCVD 设备订单也大幅增长，我们预计22-24 年净利润 11.26/12.90/15.17 亿元，维持买入评级。

    评级面临的主要风险

    晶圆厂扩建不及预期，零部件紧缺导致设备交付延迟，国际地缘政治摩擦的不确定。