投资要点：刻蚀设备收入规模持续增长，截止2021年底MiniLEDMOCVD 设备订单合计超过100 腔；多款新产品开发进展顺利。

    　　22Q1 刻蚀设备收入规模增长明显。公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售，主要为集成电路、LED 外延片、功率器件、MEMS等半导体产品的制造企业提供刻蚀设备、MOCVD 设备及其他设备。22Q1实现9.49 亿元收入，同比增57.31%；其中①、半导体刻蚀设备收入7.14 亿元，同比增105.03%，受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势；②、MOCVD 设备收入0.42 亿元，同比降68.59%，主要由于公司新签署的MiniLED MOCVD 设备规模订单在22Q1 尚未确认收入导致。

    　　在手订单充足，长期发展动能强劲，盈利能力持续提升。根据公司年报披露，截止2021 年底新签订单金额达41.3 亿元，同比增90.5%；对一季报的存货、合同负债金额进行分析，我们认为公司在手订单持续增加、保障了未来持续地高成长：截止22Q1 存货金额20.95 亿元，较2021 年底的17.62 亿元增加18.88%；合同负债15.00 亿元，较2021 年底的13.72 亿元增加9.28%。一季度毛利率从2021 年的40.92%增长到45.47%，增加4.55pct；实现扣非归母净利润1.86 亿元，同比增长1578.18%；公司盈利能力持续提升。

    　　刻蚀设备、MOCVD 设备快速发展，新产品布局不断丰富产品线。根据公司2021 年报披露：①、CCP 刻蚀设备产品保持竞争优势，Primo AD-RIE、PrimoSSC AD-RIE、Primo HD-RIE 等产品批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线；ICP 刻蚀设备逐步趋于成熟，Primo nanova 产品已经在超过15 家客户的生产线上进行100 多个ICP 刻蚀工艺的验证。②、用于MiniLED量产的MOCVD 设备Primo UniMax 截止2021 年底已收到国内多家领先客户的批量订单合计超过100 腔；公司正在开发GaN 功率器件量产应用的MOCVD 设备，已启动应用于SiC 功率器件外延生产设备的开发，不断丰富产品线。③、钨填充CVD 设备获得阶段性进展，正与客户对接验证，并基于钨CVD 设备进一步开发CVD 和ALD 设备。④、目前EPI 设备已进入样机的设计、制造和调试阶段。

    　　盈利预测及估值建议。我们预计2022E-2024E 收入分别为45.45 亿元、60.41亿元、79.10 亿元，同比增46.23%、32.92%和30.93%；归母净利润（扣非前）分别为11.12 亿元、13.74 亿元、17.61 亿元，同比增9.98%、23.56%和28.12%。采用PE 估值法，结合可比公司估值水平，给予公司2022E（PE）55x-65x 估值，对应合理市值区间611.78 亿元-723.01 亿元，合理价值区间99.28 元/股-117.33 元/股，维持“优于大市”评级。

    　　风险提示：新冠疫情影响宏观经济带来需求下降的风险、技术研发进度不及预期、市场开拓不及预期、下游客户建厂节奏不及预期等。