半导体刻蚀设备龙头，业绩高增长，维持“买入”评级公司2022 年3 月30 日发布2021 年报，全年营收31.08 亿元，同比+36.72%；归母净利润10.11 亿元，同比+105.49%；扣非净利润3.24 亿元，同比+1291.10%；毛利率43.36%，同比+5.69pcts。计算得2021Q4 单季度营收10.35 亿元，同比+29.91%，环比+41.03%；归母净利润4.70 亿元，同比+118.14%，环比+223.34%；扣非净利润1.59 亿元，同比+131.82%，环比+54.36%。公司是国内半导体设备龙头，受益于公司积累的领先技术以及国产替代化的加速，发展潜力较大，我们上调2022-2023 年并新增2024 年业绩预测，预计2022-2024 年归母净利润为11.63（+2.89）/13.60（+1.96）/16.15 亿元，对应EPS 为1.89（+0.47）/2.21（+0.32）/2.62 元，当前股价对应PE 为61.7/52.8/44.4 倍，维持“买入”评级。

    原有产品市占率持续提升，沉积设备取得阶段性进展，成长动力充足公司2021 年新签订单金额41.3 亿元，同比+90.5%，合同负债达13.72 亿元，同比+132%。刻蚀设备：2021 年收入20.04 亿元，同比+55.44%，毛利率44.32%。

    2021 年公司共生产付运CCP 设备298 腔，产量同比+40%；ICP 设备134 腔，产量同比+235%。Primo nanova　　ICP 产品已经在超过15 家客户的生产线上完成100 多个ICP 刻蚀工艺的验证，部分工艺的刻蚀性能和量产指标已经满足客户的要求并投入量产；MOCVD 设备：由于下游市场原因及2021 年新签署的MiniLED MOCVD 设备规模订单尚未确认收入，MOCVD 收入5.03 亿元，同比+1.53%，毛利率达33.77%，同比+15.12pcts。公司2021 年6 月发布用于高性能Mini LED 量产的MOCVD 设备Prismo UniMax，已收到来自国内多家领先客户的批量订单合计超过100 腔；薄膜设备：公司正在开发LPCVD 设备和EPI 设备，并已取得了良好进展。2021 年，应用于金属互联的CVD 钨制程设备能力已能够满足客户工艺验证的需求，产品正与关键客户对接验证。EPI 设备已进入样机的设计、制造和调试阶段。2022 年3 月10 日，公司公布2022 年股票激励计划，提升人才粘性，公司成长动力充足。

    风险提示：行业需求下降风险；新产品市场拓展不及预期；技术研发不及预期。