事件：公司发布2021 年年度报告，2021 年实现营业收入31.08 亿元，同比增长36.74%；实现归属于上市公司股东的净利润为10.11 亿元，同比增长105.49%；实现归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为 3.24 亿元，同比增长1291.10%。

    全年新增订单同比大增，21Q4 业绩环比大增：公司2021 年营收和归母净利润同比大幅度提高，主要原受益于半导体设备市场高景气以及国产替代需求。扣非归母净利润小于归母净利润，主要源于2021 年投资非上市公司股权产生较大的公允价值变动损益以及获得政府补助。从分产品收入来看，2021 年刻蚀设备收入为 20.04 亿元，同比增长55.44%，毛利率达到 44.32%；MOCVD 设备收入为 5.03 亿元，同比 1.53%，增速较低原因为下游市场原因以及2021 年签署的 MiniLEDMOCVD 设备规模订单尚未确认收入，但MOCVD 设备的毛利率达到 33.77%，同比提高15.12pct。从订单来看，2021 年公司新签订单金额达 41.3 亿元，同比增长 90.5%，公司订单饱满，显示下游需求旺盛。从Q4 单季度来看，Q4 单季实现营业收入10.35 亿元，同比增长29.86%，环比增长41.01%；实现归母净利润4.70 亿元，同比增长118.60%，环比增长224.14%，Q4 营收环比持续提高，归母净利润环比大幅度提高。

    CCP 刻蚀稳步成长，ICP 刻蚀打开第二成长曲线：在刻蚀设备方面，公司刻蚀设备已应用于全球先进的 7 纳米和 5 纳米集成电路加工制造生产线。2021 年，公司共生产付运 CCP 刻蚀设备298 腔，产量同比增长40%；生产付运 ICP 刻蚀设备 134 腔，产量同比增长 235%。

    在CVD 设备方面，公司应用于金属互联的 CVD 钨制程设备能力已能够满足客户工艺验证的需求，产品正与关键客户对接验证。另外，公司还组建了EPI 设备研发团队，通过基础研究和采纳关键客户的技术反馈，已经形成主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案。此外，公司正在筹划开发 ALD 和 ALE 等关键设备，未来半导体设备品类有望持续丰富。

    Mini LED 为MOCVD 设备带来新成长机遇：在MOCVD 方面，MiniLED 市场的快速增长将为公司带来新的成长机遇。公司在 2021 年 6月正式发布了用于高性能 Mini LED 量产的 MOCVD 设备 PrismoUniMax，该设备具备高波长均匀性、高良率等优点，此外，该设备 可同时加工 164 片4 英寸或 72 片 6 英寸外延片。凭借效率和良率优势，设备发布半年内公司已收到来自国内多家领先客户的批量订单合计超过 100 腔。2022 年3 月份，公司又接到来自江西兆驰半导体有限公司52 腔Prismo Unimax MOCVD 设备采购订单。展望未来，随着Mini LED 下游市场的快速增长，公司MOCVD 设备有望迎来新的成长机遇。

    投资建议：我们预计公司2022 年~2024 年收入分别为43.03 亿元、57.33亿元、72.91 亿元，归母净利润分别为10.96 亿元、13.85 亿元、18.34亿元，维持“买入-A”投资评级。

    风险提示：下游需求衰减风险，市场竞争加剧风险，国产替代不及预期。