事项：

    公司披露2021 年年报，2021 年公司实现收入31.08 亿元（同比+36.72%），实现归母净利润10.11 亿元（同比+105.49%），扣非后归母净利润3.24 亿元（同比+1291.10%）。

    平安观点：

    营收高增、利润率改善，公司2021 年业绩亮眼。1）收入端：2021 年公司营收大幅增长，共实现营业收入31.08 亿元，同比增长36.72%，产品销售腔体数同比增长43.03%达349 腔。2）毛利率：2021 年公司综合毛利率为43.36%，同比提升5.69pct，主要受益于MOCVD 设备毛利率的大幅改善（由18.65%提升到33.77%）。3）费用端：2021 年公司销售、管理、研发、财务四费费率合计为26.56%，同比减少4.81pct，主要由于收入增加使得研发费用率摊薄，以及年内利息收入增幅较大。4）净利率：

    2021 年公司归母净利润率达32.54%，同比提升10.89pct；扣非后归母净利润率10.44%，同比提升9.41pct。5）订单：2021 年，公司新签订单金额达41.3 亿元（同比+ 90.5%），在手订单饱满。

    刻蚀设备：市占率节节攀升，国产替代稳步推进。2021 年，公司刻蚀设备收入为20.04 亿元，较2020 年大幅增长55.44%；毛利率44.32%，与上年度（44.48%）基本持平。公司CCP 和ICP 刻蚀设备均获得良好进展。

    1）CCP 设备市占率持续提升。2021 年，公司共生产付运CCP 刻蚀设备298 腔，产量同比增长40%。公司CCP 设备已批量应用于国内外一线客户的集成电路生产线，并持续提升市场占有率，在部分客户市场占有率已进入前三位甚至前二位。2）ICP 刻蚀设备业绩爆发，工艺验证渐趋成熟。

    2021，公司共生产付运ICP 刻蚀机134 腔，同比增长超过230%。公司Primo nanova ICP 刻蚀产品已经在超过15 家客户的生产线上进行100多个ICP 刻蚀工艺的验证，部分工艺的刻蚀性能和量产指标已经满足客户的要求并投入量产，且持续扩展到更多刻蚀应用的验证。

    MOCVD 设备：Mini LED 成为增长强驱动力，大订单在手业绩可期。由于下游市场原因以及本年新签署的Mini LED MOCVD设备规模订单尚未确认收入，2021 年，公司MOCVD 设备收入为5.03 亿元，较2020 年增长约1.53%；毛利率达33.77%，较2020 年的18.65%大幅提升。受益于Mini LED 市场爆发，相关MOCVD 设备需求旺盛。公司2021 年6 月发布了用于高性能Mini LED 量产的MOCVD 设备Prismo UniMax ，半年内订单已超过100 腔；2022 年3 月，公司宣布获得兆驰股份52腔Prismo Unimax MOCVD 设备采购订单。除Mini LED 外，公司还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备，GaN功率器件MOCVD 设备此前已交付国内外领先客户进行生产验证，SiC 外延设备也已经启动研发，产品线进一步丰富。

    薄膜沉积设备研发取得阶段性进展，EPI 设备设计完成。2021 年，公司的钨填充CVD 设备取得阶段性进展。应用于金属互联的CVD 钨制程设备能力已能够满足客户工艺验证的需求，产品正与关键客户对接验证。年内，公司组建了EPI 设备研发团队，通过基础研究和采纳关键客户的技术反馈，已经形成自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案。目前公司EPI 设备已进入样机的设计、制造和调试阶段。

    股权激励提升人才粘性，业绩目标彰显发展信心。2022 年3 月10 日，公司公布2022 年限制性股票激励计划（草案），计划向1104 名激励对象（占公司职工人数99.4%）授予400 万股限制性股票。3 月29 日，公司已以50 元/股的价格向激励对象授予400 万股。2022 年激励计划对应的业绩考核目标要求公司2022-2025 年营业收入相对于2021 年（31.08 亿元）分别增长20%/45%/70%/100%。假如后续考核年份均达到100%归属的业绩目标，公司2022/2023/2024/2025 年营收将分别不低于37.3/45.1/52.8/62.2 亿元。

    投资建议：微调公司盈利预测，预计2022-2024 年公司归母净利润为11.70 亿元、14.00 亿元、16.13 亿元（2022-2023 前值分别为11.27 亿元、14.04 亿元），对应的市盈率分别为61 倍、51 倍、44 倍。公司作为刻蚀设备和MOCVD 双龙头，业绩有望持续高增长，维持“推荐”评级。

    风险提示：（1）下游客户扩产投资不及预期的风险。若下游晶圆厂和LED 芯片制造商的后续投资不及预期，对相关设备的采购需求减弱，这将影响公司的订单量，进而对公司的业绩产生不利影响。（2）新产品研发不及预期风险。若公司新产品研发不及预期，将影响公司长远发展。（3）国际贸易摩擦风险。近年来，国际贸易摩擦不断。如果中美贸易摩擦继续恶化，公司的生产运营将受到一定影响。（4）政府补助变动的风险。若公司未来不能持续获得政府补助或政府补助显著降低，将会对公司经营业绩产生不利影响。