中微公司在此前发布2021 年业绩快报，并于3 月10 日发布2022 年股权激励草案和增资上海睿励公告。公司全年实现收入31 亿元，同比+37%，扣非归母净利润同比大幅增长1282%，同时大额股权激励彰显收入高增长信心，增资睿励强化泛半导体设备平台化布局。中微公司后续预计推出多款新品，我们看好公司未来成长性，维持“审慎推荐-A”评级。

    2021 年全年收入稳步增长，经营性净利润大幅提升。中微公司2021 全年实现营收31.08 亿元，同比+36.7%，毛利率43.4%，同比+5.7pcts，归母净利润10.1亿元，同比+105.5%，扣非归母净利润3.2 亿元，同比+1281.9%。公司2021 全年非经常性损益中，持有SMIC 和其他公司股权收益分别为0.39 和3.7 亿元，政府补助3.5 亿元。2021 全年公司股份支付费用2.15 亿元，2020 年为1.24 亿元，加回股份支付费用后，2021 全年归母净利润和扣非净利润分别为12.25 和5.35亿元，同比+98.8%/263.1%。

    21Q4 单季度收入和经营性净利润依旧实现环比增长。21Q4 单季度实现营收10.35 亿元，同比/环比分别+29.9%/41.0%；实现扣非净利1.55 元，同比+125.5%，环比+50.1%。21Q4 公司股份支付费用为0.32 亿元，20Q4 为0.63 亿元，加回股份支付费用后，21Q4 扣非净利为1.87 亿元，同比+41.9%。

    2021 全年新签订单同比大幅增长。公司2021 全年新签订单41.3 亿元，同比大幅+90.5%，其中21Q4 新签订单为6.1 亿元，因此我们预计22 年公司收入高增长确定性较高。考虑到ICP 设备增速较快，预计刻蚀设备中ICP 占比逐步提升，此外Mini-LED MOCVD 设备亦获得规模订单，预计在2022 年确认收入。

    分产品看，ICP 推动刻蚀高增长，MOCVD 毛利率同比大幅回升。①刻蚀设备：

    2021 全年实现收入为20.04 亿元，同比+55.44%，其中ICP 收入增速远高于CCP收入增速，刻蚀全年毛利率44.3%。21Q4 单季收入6.52 亿元，环比+32%，刻蚀单季毛利率45.3%，环比+1.9pcts。②MOCVD 设备：2021 全年收入5.03 亿元，同比+1.5%，增幅较小主要系下游LED 景气度问题以及21 年新签Mini-LEDMOCVD 订单尚未确认收入；MOCVD 毛利率33.8%，同比大幅+15.1pcts；21Q4实现收入1.99 亿元，环比+136.9%，实现毛利率36.3%，环比+0.4pcts。

    公司新品开发顺利，2022 年有望保持高增长态势。①CCP 新品即将推出，ICP逐步切入逻辑客户：公司在22 年前后预计推出两款CCP 新应用（大马士革和极高深宽比刻蚀），大马士革工艺有望覆盖5nm 及以下，CCP 介质刻蚀机在实验室中达到的深宽比超60:1，多晶硅刻蚀等新品加速开发中。刻蚀新品推出后预计中微可覆盖80%以上刻蚀工艺，ICP 将逐步从存储客户切入逻辑客户，后续收入增速将显著高于CCP；②薄膜沉积设备新品开发顺利：面向Mini LED 的MOCVD新品Prismo UniMax 实现量产，预计在2022~2024 年逐步推出LPCVD 设备和EPI 设备等新品。

    大额股权激励彰显高增长信心。中微公司2022 年股权激励计划（草案）计划授予限制性股票共400 万股，占公司总股本的0.649%，授予价为50 元/股，激励对象共1104 人，占公司全部员工人数的99.37%。按照公司业绩考核目标为：

    2022/2023/2024/2025 年营业收入同比2021 年增长率分别不低于20%/45%/70%/100%，按照公司2021 业绩快报公布的31.1 亿元推算，公司2022年收入有望达到37.3 亿元，2025 年收入有望实现翻倍达62.2 亿元，2021~2025年收入CAGR 不低于18.9%，预计2022/2023/2024/2025 年产生摊销费用分别为12628/10920/5922/2833/535 万元。

    增资上海睿励加大泛半导体设备平台化布局力度。公司决定以现金方式对上海睿励增资1.08 亿元，持股比例将由20.45%提升至29.36%，本次增资彰显中微在泛半导体设备领域加大布局力度。上海睿励主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等，自主研发的12 寸光学测量设备TFX3000 系列产品，已应用在65/55/40/28nm 生产线并在进行14nm 工艺验证，在3D 存储芯片产线支持64 层3D NAND 芯片的生产，并正在验证96 层3DNAND 芯片的测量性能，公司正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD 测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备。2021 年上海睿励实现收入4084 万元，扣非归母净利润亏损3541 万元。

    投资建议：考虑到公司在手订单充足，新品拓展较为顺利，我们预计公司21/22/23年营业收入为31.08/42.95/53.59 亿元，归母净利润为10.11/9.07/11.80 亿元，对应PS 为25.41/18.39/14.74 倍，维持“审慎推荐-A”评级。

    风险提示：LED 下游需求不及预期、国内晶圆厂扩产不及预期、海外客户拓展不及预期、新品拓展不及预期、刻蚀设备行业竞争加剧的风险。