事项：

    2022 年3 月9 日，公司发布公告：1）公司拟向1104 名激励对象授予400 万股限制性股票，约占公司总股本的0.649%，授予价格为50 元/股；2）公司拟以现金1.08 亿元人民币对上海睿励进行增资，增资后公司持股比例由20.4467%增加至29.3562%。

    评论：

    大范围股权激励调动员工积极性，有助于公司持续健康发展。公司拟向激励对象授予400 万股限制性股票，约占总股本的0.649%，授予价格为50 元/股，激励对象总人数为1104 人，占全部职工数的99.37%。以2021 年度营业收入为基数，公司2022-2025 年营收增长率考核目标分别不低于20%、45%、70%、100%。公司此次激励计划更多是为了吸引和保留优秀人才，结合行业景气度及设备国产化趋势，我们认为公司实际业绩将显著高于业绩考核要求。

    增资睿励助力其远期发展，公司正通过内生外延加速平台化布局。上海睿励主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等，公司本次增资1.08 亿元后持股比例由20.4467%增加至29.3562%，将进一步完善业务布局，同时现金增资有望为睿励发展补充流动资金，未来双方有望在技术、客户、管理等方面发挥产业链协同效应。近年来公司加速平台化布局，目前已组建团队开发LPCVD 设备和EPI 设备，同时通过外延式发展方式持有拓荆科技、理想万里晖、山东天岳、德龙激光等公司股权。公司技术积累深厚，正逐步打造成为国际一流的平台型设备企业。

    行业持续高景气叠加国产替代加速，公司有望持续受益。成熟制程供不应求带动国内晶圆厂加速扩产，2021Q3 中国大陆半导体设备销售额同比+29.4%至72.7 亿美元。同时，中微公司等国内半导体设备厂商加大产品开拓力度，下游晶圆厂积极配合设备验证导入，半导体设备国产化加速。公司ICP 设备已批量出货，CCP 设备竞争优势明显，Mini LED 技术驱动下MOCVD 业务拐点明显，公司凭借技术优势有望显著受益于行业需求提升。

    盈利预测、估值及投资评级。全球半导体设备市场持续高景气，公司显著受益于刻蚀设备需求增长；同时，Mini LED 技术趋于成熟，下游LED 芯片厂商积极扩产，公司MOCVD 设备业务有望迎来业绩拐点。公司一方面受益于国产替代机遇，另一方面积极推进全球化布局，我们预测2021-2023 年公司营业收入分别为31.1/44.0/60.0 亿元，结合公司历史估值区间及行业平均估值水平，给予2022 年23 倍PS，对应目标价为164.16 元，维持“强推”评级。

    风险提示：中美贸易摩擦加剧；下游客户扩产不及预期；上游零部件供应短缺。