公司是刻蚀和MOCVD 设备龙头厂商，正通过内生外延加速平台化布局。公司2004 年由尹志尧博士等人回国创立，2007 年首台CCP 刻蚀设备研制成功，2012 年首台MOCVD 设备研制成功，目前产品已具备国际竞争力，公司ICP刻蚀设备已趋于成熟，截至2021 年6 月已交付100 腔，Mini LED 用MOCVD设备已获得大批量订单，产品品类拓展叠加市场份额提升，公司长期发展向好。

    　　目前公司正加速平台化布局，现已组建团队开发LPCVD 设备和EPI 设备，同时通过外延式发展方式持有拓荆科技、睿励仪器、理想万里晖、山东天岳、德龙激光等公司股权，与德国DAS 公司战略合作以开拓半导体行业尾气处理设备领域。公司技术积累深厚，正逐步打造成为国际一流的平台型设备企业。

    　　行业持续高景气叠加国产替代加速，国产半导体设备厂商份额持续提升。5G、新能源汽车等领域的蓬勃发展开启全球新一轮半导体景气周期，下游晶圆厂积极扩产带动半导体设备市场快速增长，SEMI 预计2021 年全球半导体设备市场规模同比增长44.7%至1030 亿美元，2022 年将增长至1140 亿美元。同时，成熟制程供不应求带动国内晶圆厂加速扩产，中美贸易摩擦背景下设备国产化趋势明显。2021Q3 中国大陆半导体设备销售额同比增长29.4%至72.7 亿美元，SEMI 预计2021 年中国大陆将成为全球第一大设备支出地区。以北方华创、中微公司为代表的国内半导体设备厂商加大产品开拓力度，下游晶圆厂积极配合设备验证导入，半导体设备国产化加速。随着下游客户的持续扩产及先进制程设备的研发及验证，国产半导体设备厂商份额有望持续提升。

    　　公司刻蚀设备持续受益于行业高景气，MOCVD 业务有望迎来拐点。刻蚀设备方面，公司ICP 设备已实现批量出货，CCP 设备竞争优势明显，2020 年CCP设备在国内逻辑器件的两家头部厂商中市场份额达到39%，且已进入台积电、联电、格罗方德等海外晶圆厂中，未来公司有望显著受益于国产替代机遇，同时凭借产品优势扩大海外市场份额。MOCVD 设备方面，公司打破爱思强、维易科等寡头垄断格局，占据主要市场份额，Mini LED 技术驱动LED 芯片厂商加大投资力度，公司2021 年6 月发布用于Mini LED 用MOCVD 设备，截至2021 年12 月设备订单已超过100 腔。随着下游客户持续加码Mini LED 技术，公司凭借技术优势有望显著受益于行业需求提升。

    　　盈利预测、估值及投资评级。全球半导体设备市场持续高景气，公司显著受益于刻蚀设备需求增长；同时，Mini LED 技术趋于成熟，下游LED 芯片厂商积极扩产，公司MOCVD 设备业务有望迎来业绩拐点。公司一方面受益于国产替代机遇，另一方面积极推进全球化布局，我们预测2021-2023 年公司营业收入分别为31.1/44.0/60.0 亿元，结合公司历史估值区间及行业平均估值水平，给予2022 年23 倍PS，对应目标价为164.16 元，首次覆盖给予“强推”评级。

    　　风险提示：中美贸易摩擦加剧；下游客户扩产不及预期；上游零部件供应短缺。