半导体刻蚀设备龙头，业绩高增长，维持“买入”评级2021 年10 月27 日公司发布2021 三季报公告，2021 前三季度公司实现营收20.73亿元，同比+40.4%；归母净利润5.42 亿元，同比+95.66%；扣非净利润1.65 亿元，同比+462.29%。其中2021Q3 单季度实现营收7.34 亿元，同比+47.45%，环比-0.15%；归母净利润1.45 亿元，同比-8.02%，环比-43.9%；扣非净利润1.03 亿元，同比+220.61%，环比+104.55%。公司前三季度刻蚀设备收入13.52 亿元，同比+99.01%，毛利率44%；MOCVD 设备收入3.04 亿元，同比-24.27%，但毛利率大幅提升至32.21%。公司是国内半导体设备龙头，受益于公司积累的领先技术以及国产替代化的加速，发展潜力较大。我们上调盈利预测，2021-2023 年归母净利润预计为6.75（+1.24）/8.74（+0.84）/11.64（+1.87）亿元，EPS 预计为1.09（+0.20）/1.42（+0.14）/1.89（+0.30）元，当前股价对应PE 为131.1/101.1/76.0倍，维持“买入”评级。

    在手订单大幅增长，成长动力充足

    公司CCP 在5nm 以下产线获得重复订单，在64 层及128 层3D NAND 获广泛应用；ICP 已经在10 家客户产线上验证，在2021 年6 月实现ICP 设备交付量突破100 腔；高性能Mini LED 量产的MOCVD 设备已取得规模订单。公司在手订单充足，2021Q1-Q3 新签订单金额达35.2 亿元，同比增长超过110%，其中2021Q3单季度新签订单16.31 亿元，上半年新签订单合计为18.89 亿元，Q3 业绩尚未体现未发货订单情况。2021Q3 末合同负债为8.9 亿元，环比增长4.6 亿元，存货达到14.3 亿元，环比+15.76%，在手订单表明市场需求良好。公司持续加强研发，2021 前三季度公司合计研发投入4.55 亿元，同比+18%；研发费用2.59 亿元，同比+19%；研发投入占营收比重为22%。2021H1 公司研发人员数量为348 人，同比增长50 人，占员工总数38%，未来公司技术实力有望继续加强。

    风险提示：行业需求下降风险；新产品市场拓展不及预期风险；产能建设不及预期风险。