公司是国内稀缺的半导体设备龙头，刻蚀设备技术先进、国内市占领先，业绩表现受益半导体设备市场成长及公司产品竞争优势的提升；MOCVD 设备订单增长明显，受益Mini LED、功率等细分成长需求景气。近年来公司内生外延并举，拓展CVD 薄膜沉积、量测与检测、VOC 等泛半导体设备领域，国产替代趋势下预计将深度受益，我们看好公司核心业务及泛半导体设备平台型公司的成长逻辑，维持“买入”评级。

    2021Q3 收入同比+47.45%，毛利率提升，扣非后净利润环比翻倍。公司2021年前三季度营业收入20.73 亿元，同比增长40.40%，归母净利润5.42 亿元，同比增长95.66%，扣非归母净利润1.65 亿元，同比大幅增长462.69%；单季来看，第三季度收入7.34 亿元，同比+47.5%，扣非后归母净利润1.03 亿元，同比大幅扭亏（去年同期为-0.86 亿元），环比+104.5%（Q2 为5051 万元），归母净利润1.45 亿元，同比-8.02%（其中间接持有中芯国际股票股价变动导致Q3 亏损0.14 亿元，去年同期为收益1.56 亿元）；Q3 单季度毛利率43.31%，同比+6.85pcts，环比-1.9pcts。Q3 费用控制明显，期间费用率22.52%，环比-6.87pcts，其中研发费用率12.35%，环比提升1.21pcts。

    刻蚀设备收入持续翻倍增长，MOCVD 设备处于下游应用接棒期，Mini-LED 相关设备有望于2022 年显著拉动收入增长。刻蚀设备方面，前三季度刻蚀设备收入为13.52 亿元，同比+99.01%，毛利率达到43.97%；Q3 单季度刻蚀设备收入为4.94 亿元，同比+132.43%，增速进一步提升，受益于下游晶圆厂持续扩产带动的旺盛需求；公司刻蚀设备在部分客户市场的占有率已进入前三位。

    MOCVD 设备方面，由于照明用蓝光LED 市场扩产增量有限而2021 年新签署的Mini-LED MOCVD 设备订单尚未发货，前三季度MOCVD 设备收入为3.04亿元，同比-24.27%，毛利率为32.21%，同比大幅度提升；Q3 单季度MOCVD设备收入为0.84 亿元，同比-46.29%。2021 年是Mini-LED商业化元年，Mini-LED新签订单规模已超过2020 年MOCVD 设备收入体量，我们预计2022 年有望逐渐落实至收入，拉动公司MOCVD 设备收入回升。

    新签订单金额同比增长超过110%，新增订单进度加快。2021 年前三季度新签订单（刻蚀+MOCVD）金额达35.2 亿元，同比增长超过110%（上半年新签订单18.89 亿元，同比增速超过70%），其中Q3 单季度新增订单16.3 亿元，订单新增速度显著加快。截至2021 年9 月底公司合同负债为8.93 亿元，相较6月底增长106.12%，9 月底存货为16.58 亿元，相较6 月底增长15.8%，主要为订单增加带动发出商品和备货增加，前瞻指标表明公司订单需求旺盛，后续增长潜力充足。

    风险因素：下游需求不及预期；中美贸易环境恶化风险；海外拓展不及预期；新品研发、商用进展不及预期。

    投资建议：我们预计公司2021~2023 年营业收入分别为30.25/43.75/57.20 亿元，考虑到综合毛利率提升以及费用控制和费用率摊薄，我们上调2021~2023年净利润预测至7.18/8.90/10.65 亿元（原预测为5.52/7.47/9.25 亿元），对应EPS 预测分别为1.17/1.44/1.73 元（原预测为0.90/1.21/1.50 元）。中微公司作为半导体设备龙头企业，公司技术水平和客户资源领先同业，未来业绩有望持续高速成长，参考公司历史估值水平，考虑到公司技术领先优势具备较强稀缺性，按照2021 年45 倍PS，给予目标价221 元，维持“买入”评级。