公司发布三季报。公司2021Q3 实现营业收入7.34 亿元，同比增长47%；实现扣非归母净利润1.03 亿元，同比增长221%。公司单季度毛利率43%，净利率20%。公司单季度研发投入1.69 亿，占营收23%。公司1~9 月刻蚀设备收入13.52 亿元，同比增长99%，毛利率44%；MOCVD 设备收入3.04 亿元，同比下降24%，毛利率32%。本年新签署的Mini-LED MOCVD设备规模订单尚未发货。公司2021Q3 单季度刻蚀设备收入为4.94 亿元，MOCVD 设备收入为0.85 亿元。

    　　新签订单大幅增长，合同负债环比翻倍。公司CCP 产品保持竞争优势，5nm以下产线获得重复订单，在64/128 层3D NAND 广泛应用。公司ICP 已经在10 家客户产线上验证，截止2021/06 累计发货100 台反应腔。公司用于高性能Mini LED 量产的MOCVD 设备已经发布。公司2021Q3 单季度新签订单16.31 亿元，上半年新签订单合计为18.89 亿元，订单大幅增长。2021Q3报告期末合同负债8.93 亿元，环比提升4.6 亿元。刻蚀设备需求持续增长，Mini LED MOCVD 设备规模订单需求产生。

    　　持续加强研发投入，打造创新文化研发团队。2021Q1~Q3，公司研发投入4.55 亿元，同比增长18%；研发费用2.59 亿元，同比增长19%。研发投入占营收比重为22%。截止2021H1，公司研发人员348 人，比上年同期增长50 人，占员工总数38%。公司创始人和技术人员拥有国际领先半导体设备公司的从业经验，研发团队覆盖多个学科，积累丰富的经验、技术和专利储备，并形成良好的创新文化。公司在研项目涉及众多涵盖先进逻辑、DRAM、3D NAND 刻蚀设备、外延设备、薄膜设备等。

    　　半导体刻蚀设备龙头，打造旗舰平台型企业。公司成功打造一支具有创造力和核心竞争力的技术团队，并成功打开商业化空间。公司MOCVD 持续升级，CCP 产品涵盖国内外一线客户，ICP 产品快速迭代并放量，并继续布局半导体设备新产品线，打造半导体设备旗舰企业，并通过外延投资沈阳拓荆、睿励仪器、山东天岳等公司推进平台型建设。预计公司2021~2023 年归母净利润6.70/6.67/7.99 亿元，维持“买入”评级。

    　　风险提示：下游需求不及预期、新产品推进不及预期