属于上市公司股东净利润3.97 亿元，同比增长233.17%，归属于上市公司股东扣非净利润为0.62 亿元，同比增长53.35%。EPS 为0.74 元/股，同比增长236.36%。毛利率为42.34%，比上年同期上升8.42 个百分点。

    　　支撑评级的要点

    　　刻蚀设备销售带动营收高速增长。2021 上半年，公司实现营业收入13.39亿元，同比增长36.82%，其中，刻蚀设备收入为 8.58 亿元，同比增长83.79%；而MOCVD 设备收入为2.19 亿元，同比下滑10.08%。同时，根据Q1 的业务数据推算，公司Q2 营业收入为7.36 亿元，环比增长22.06%，同比增长30.08%，公司的营收高速增长主要得益于刻蚀设备的销售收入增长，Q2 刻蚀设备收入为5.1 亿元，环比增长46.55%，同比增长100.56%；而Q2 的MOCVD 收入为0.86 亿元，环比下滑35.34%，同比下滑48.93%。

    　　毛利率改善致盈利能力大幅提升。2021 上半年公司实现归母净利润3.97亿元，同比增长233.17%，其中Q2 归母净利润为2.59 亿元，环比增长87.81%，同比增长178.82%。2021 上半年公司毛利率为42.34%，同比扩大8.42 个百分点，分产品来看，刻蚀设备毛利率达44.29%，MOCVD 设备毛利率30.77%同比有明显上升。此外，2021 上半年公司受到政府补助较上年同期增加约1.44 亿元，及公允价值变动收益 1.71 亿元。

    　　上半年新签订单金额同比增长超70%。公司上半年新签订单金额达 18.89亿元，同比增长70%以上，相当于2020 年全年营收的83.11%，且有部分Mini-LED MOCVD 设备规模订单已进入最后签署阶段。鉴于公司的销售模式为以销定产，公司2021 上半年存货金额比2020 年末存货增长34.63%，新增订单的转化收入将有力推动公司全年业绩保持高增长。

    　　刻蚀工艺持续推进，研发转化进度加快。公司已开发出 5 纳米以下刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。2021年 6 月公司 ICP 设备 Primo Nanova第 100 台反应腔顺利交付，且双反应台ICP 刻蚀设备Primo Twin-Star也已经在客户端完成认证并收到国内领先客户的订单。公司正开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，涵盖 5 纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。

    　　2021 上半年公司的资本化研发投入比上期增长90.73%，研发转化进度加快，公司产品的竞争优势将有力推动公司继续稳步增长。

    　　估值

    　　鉴于公司新签订单额显著增长，mini-LED MOCVD 设备即将获得批量订单，盈利能力显著提升。预测2021-23 年公司净利润分别为6.30/8.43/10.79 亿元，维持买入评级。

    　　评级面临的主要风险

    　　零部件供应紧缺致设备订单交付周期延长；权益工具投资的公允价值变动风险等。