国内半导体设备龙头厂商，2021H1 业绩高增长，维持“买入”评级。

    　　2021 年8 月24 日公司发布半年报，2021H1 营收13.39 亿元，同比+36.82%；归母净利润3.97 亿元，同比+233.17%；扣非归母净利润0.62 亿元，同比+53.35%。

    　　计算得2021Q2 单季度营收7.35 亿元，同比+29.95%，环比+21.87%；归母净利润2.59 亿元，同比+178.87%，环比+87.89%；扣非归母净利润0.51 亿元，同比+8.91%，环比+354.67%。公司是国内半导体设备龙头，受益于公司积累的领先技术以及国产替代化的加速，发展潜力较大。我们上调盈利预测，2021-2023 年归母净利润预计为5.51（+0.03）/7.90（+0.05）/9.77（+0.05）亿元，EPS 预计为0.89（-0.14）/1.28（-0.19）/1.59（-0.23）元，当前股价对应PE 为199.8/139.3/112.5倍，维持“买入”评级。

    　　内生外延，扩展业务布局，前景可期

    　　据 Gartner 预测，刻蚀设备市场规模2020-2024 年将由123 亿美元增长至152 亿美元。由于微观器件越做越小，薄膜厚度越来越薄，线宽控制越来越严，ICP 刻蚀设备取代以往的CCP 刻蚀设备成为市场规模占主导地位的设备，公司是国内唯一具备CCP、ICP 两种刻蚀技术的企业。内生方面，公司ICP 刻蚀设备Primonanova产品已成功进入海内外10 余家客户，超过70 个工艺在客户的生产线上达标，在领先的逻辑芯片、DRAM 和3D NAND 生产线上大规模量产，2021/6 公司ICP 设备第100 台反应腔顺利交付，研发的双反应台ICP 刻蚀设备Primo Twin-Star也在客户端完成认证，收到国内领先客户的订单。公司CCP 产品保持竞争优势，5nm 以下产线获得重复订单，在64/128 层3DNAND 广泛应用，2021 年6月首台8 英寸CCP 刻蚀设备顺利付运。用于高性能Mini-LED 量产的MOCVD设备已收到来自国内领先客户的批量订单。外延方面，公司已投资沈阳拓荆、睿励仪器、山东天岳等公司，布局薄膜、检测设备、碳化硅衬底材料等领域，内生外延推动平台化建设进程，同时完成对睿励仪器的增资，进一步巩固产业链协同效应。公司7 月定增募资82.1 亿元，用于扩产及开发新产品线，前景可期。

    　　风险提示：行业需求下降风险；行业竞争加剧风险、技术研发不及预期。