公司是国内稀缺的半导体设备龙头，刻蚀设备技术先进、国内市占率领先，受益晶圆厂扩产及国产化趋势；MOCVD 设备市占率全球第三，受益Mini LED、功率等细分成长需求景气。近年来公司内生外延并举，拓展CVD 薄膜沉积、量测与检测、VOC 等泛半导体设备领域，料国产替代趋势下将深度受益。我们看好公司核心业务及泛半导体设备平台型公司的成长逻辑，预测2021~2023 年营业收入分别为30.25/43.75/57.20 亿元，净利润分别为5.52/7.47/9.25 亿元，目标价221 元，首次覆盖给予“买入”评级。

    　　 公司概况：国内稀缺、全球领先的半导体设备公司。公司以刻蚀设备起家，后推出MOCVD 设备，并逐步拓展VOC 设备等产品，2020 年实现营收/净利润分别为22.73/4.92 亿元，过去4 年CAGR 分别为38.97%/32.28%。从收入占比来看，2020 年刻蚀设备/MOCVD 设备/VOC 设备/备品备件/设备维护/其他业务分别占比56.70%/21.82%/0.62%/19.43%/1.44%/0.01%。公司产品已进入中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、台积电、海力士、三安光电等头部晶圆厂，刻蚀设备已进入台积电5nm 产线。未来，公司料将受益晶圆厂扩产及国产替代持续，并通过内生外延扩张成长为泛半导体设备平台型企业，我们预计公司未来三年营收CAGR 为34%。

    　　 刻蚀设备：长期深耕、技术领先，受益刻蚀环节价值提升及国产化。目前IC制造刻蚀以干法为主，根据Gartner 数据，2020 年全球IC 干法刻蚀设备市场约140 亿美元，该机构预计2020~2024 年CAGR 为5.8%。竞争格局看，刻蚀设备市场高度集中，海外大厂垄断，2020 年CR3 超过90%。公司是国内唯一兼具CCP/ICP 两种刻蚀技术的企业，产品线覆盖65nm-5nm 各制程，涵盖存储、逻辑芯片等应用领域，凭借双反应台配置的高生产效率及国际领先的性能，在存储厂及晶圆代工厂份额持续提升，目前在长江存储/华力集成招标中设备数占比14.2%/17%，设备数国内第一。公司拟定增募资扩充刻蚀设备产能630 腔/年，2026 年达产后产能将较2021 年提升6 倍，公司有望在刻蚀设备技术继续深挖，完善刻蚀设备产品线，未来料持续受益国内晶圆厂扩产+国产化趋势。

    　　 薄膜沉积设备：MOCVD 迎来业绩拐点，广泛布局CVD 打开更大市场。据Maximize Market Research 数据，2020 年全球半导体薄膜沉积设备市场规模约172 亿美元，该机构预计2020~2025 年CAGR 约为14.6%，其中MOCVD设备市场约8.4 亿美元（占比约5%），电子电力、Mini-LED 等市场发展料将带动需求，Prudour 预计2020~2025 年CAGR 约为8.5%。竞争格局看，根据Gartner 数据，CVD 设备市场由海外巨头寡头垄断，2020 年CR3 达 70%，其中MOCVD 设备CR3 高达98%，公司MOCVD 市占率16%，其中在GaNLED MOCVD 市场公司市占率达到50%以上（IHS 数据）。当前Mini LED、功率器件等有望进入快速增长期，需求驱动和新品推出有望带动公司MOCVD业务重回增长。同时，公司与沈阳拓荆协同覆盖薄膜沉积设备领域，公司布局HPCVD、LPCVD、ALD、EPI 等薄膜沉积设备的开发和工艺应用，进一步打开市场空间。

    　　 未来展望：内生增长+外延并购，打造平台型半导体设备公司。公司对标应用材料、泛林等国际龙头，通过内生外延拓展品类：1）设备端：参股睿励仪器布局前道量测设备，参股拓荆科技、Solayer 等赋能刻蚀、薄膜领域发展，未来量测、刻蚀、薄膜沉积设备形成协同效应；并依托子公司中微惠创推出VOC设备进军配套环保领域打开更大市场；2）产业链：参股拓展衬底材料领域发挥客户协同，并通过中微汇链实现软硬件协同培育半导体生态链。预计公司未来将成为平台型半导体设备公司，在泛半导体广阔市场中持续增长。

    　　 风险因素：下游需求不及预期；中美贸易环境恶化风险；海外拓展不及预期；新品研发、商用进展不及预期。

    　　 投资建议：公司是半导体设备龙头企业，立足刻蚀及薄膜沉积核心业务，通过内生外延并举向泛半导体设备平台型公司发展。刻蚀领域市场持续增长，晶圆厂扩产及国产化趋势为为公司带来发展机遇；MOCVD 领域公司市占率领先，Mini LED/功率器件等放量带来市场扩张动能；未来布局的泛半导体设备领域带来广阔成长空间。我们预计公司2021/22/23 年营业收入分别为30.25/43.75/57.20 亿元，预计净利润分别为5.52/7.47/9.25 亿元，对应EPS预测分别为0.90/1.21/1.50 元。中微公司作为半导体设备龙头企业，公司技术水平和客户资源领先同业，未来业绩有望持续高速成长，参考公司历史估值水平，考虑到公司技术领先优势具备较强稀缺性，按照2021 年45 倍PS，给予目标价221 元，首次覆盖，给予“买入”评级。