2021 年6 月9 日，公司发布最新公告称美国国防部将 AdvancedMicro-Fabrication Equipment Inc. （AMEC） 从中国涉军企业名单中删除，美国人士将不再受限对 AMEC 所发行的有价证券及其相关的衍生品进行交易。此外，当日公司官方微信公众号称ICP 刻蚀设备Primo nanova 第100 台反应腔顺利交付。

    支撑评级的要点

    美国国防部已将AMEC 从中国涉军企业名单中删除。至此，美国人士将不再受限对 AMEC 所发行的有价证券及其相关的衍生品进行交易，也再次验证公司经营的合法合规性以及对各经营地的包括出口管制在内相关法律法规的严格遵守。我们认为公司的外部经营环境得到改善，公司的发展有望更加具备国际竞争力和潜力。

    ICP 刻蚀单年度交付量正大幅增长。据中微公司2020 年度业绩说明会透露，2016-2020 年末ICP 在线运行反应腔数依次是2、8、21、27、55 台，换算成逐年新增腔数为2、6、13、6、28 台；截止2021 年6 月仅单反应台Primo nanova 交付累计达100 台，推导今年年初以来新增腔数不低于45 台，比2020 全年新增腔数28 台至少增长61%。

    ICP 刻蚀产品销售放量，刻蚀设备的行业地位将再次显著提升。中微公司Primo nanova 产品已成功进入海内外十余家客户的晶圆生产线，在领先的逻辑芯片、DRAM 和3D NAND 厂商的生产线上实现大规模量产。根据公司业绩说明会材料，ICP 刻蚀市场规模76 亿美元，而CCP 刻蚀市场规模仅为48 亿美元，中微公司第100 腔Primo nanova 刻蚀设备的顺利交付，是公司ICP 刻蚀产品业务发展新的里程碑，标志着刻蚀产品发展迈入新的阶段。

    围绕刻蚀技术相关环节的产品平台化日益成型。在立足ICP、CCP 刻蚀这一优势领域的基础上，重点向薄膜沉积、量测设备等集成电路工艺设备外延。在薄膜沉积领域，公司参股的沈阳拓荆在长江存储、华虹无锡项目等主流12 寸产线上获得重复PECVD 订单；公司已组建Epi 设备开发团队，主要聚焦Foundry/Logic Device，主要应用于Si、Si/Ge 的Epi 工艺；已组建LPCVD 开发团队，聚焦Memory Device，主要应用于W、WN、TiN等沉积工艺。

    盈利预测和投资建议

    维持2021-23 年公司净利润分别为4.6/6.6/8.4 亿元的预测，维持买入评级。

    评级面临的主要风险

    行业景气度高导致设备零部件采购周期拉长；权益工具投资的公允价值变动风险；地缘政治因素的不确定性风险等。