事件：公司发布2020 年年报，2020 年实现营业收入22.73 亿元，同比增长16.76%，实现归母净利润4.92 亿元，同比增长161.02%，扣非后归母净利润0.23 亿元，同比下降84.19%。

    投资要点

    2020 年刻蚀设备快速增长，MOCVD 受市场影响明显。（1）受益于半导体设备市场发展和公司产品竞争优势，公司刻蚀设备收入增长约58.49%；（2）受终端芯片价格下降及生产产能持续释放等因素影响，2020 年LED 设备市场呈下滑趋势，受市场影响公司MOCVD 设备收入下降约34.47%；（3）公司2020 年因实施股权激励产生费用1.24 亿元；（4）间接持有中芯国际产生公允价值变动收益约2.62 亿元；（5）计入非经常损益的政府补助较2019 年增加约2.26 亿元。

    多个因素推动下，公司业绩有望加速。（1）全球刻蚀设备市场呈现垄断格局，泛林半导体、东京电子、应用材料占据主要市场份额。公司是国内领先的刻蚀设备商，等离子体刻蚀设备已应用于国际先进的14、7、5 纳米生产线，并正在验证5 纳米以下设备，在产业转移、技术进步的背景下，公司刻蚀设备业绩有望加速；（2）在深紫外LED、Mini LED、Micro LED、功率器件等新兴领域的推动下，MOCVD市场有望继续增长。公司MOCVD 设备已在行业领先客户生产线上大规模投入量产，处于行业领先地位，公司MOCVD 业绩有望稳步增长。

    高研发投入推动产品升级，公司竞争力有望进一步提升。2020 年公司研发投入6.4亿元，占营收的比重为28.14%，持续高水平研发推动公司产品线全面升级。（1）刻蚀设备方面：5 纳米以下逻辑集成电路刻蚀设备已获得行业领先客户的批量订单，128 层以上3D NAND 刻蚀CCP 设备、5 纳米以下逻辑芯片刻蚀的ICP 设备等多个在研项目持续推进；（2）MOCVD 设备方面：UV LED 的MOCVD 设备已在客户端进行生产验证并获得重复订单；功率器件、Mini LED 和Micro LED 等MOCVD设备研发持续推进。公司持续研发新一代刻蚀与MOCVD 技术，有助于提高公司竞争力并打开高端市场。

    公司发展战略清晰。一方面，公司践行三维发展战略，在深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会；另一方面，公司兼顾外延性发展，在聚焦公司核心业务集成电路设备的同时积极探索布局包括健康领域在内的新业绩增长点，子公司中微惠创、中微汇链及公司参与投资标的公司在各自细分领域取得了卓有成效的进展，公司和国内外先进设备公司的合作也取得突破性进展。

    投资建议：我们预计2021-2023 年公司收入分别为29.94 亿元、39.66 亿元、51.70亿元，归母净利润分别为5.28 亿元、5.95 亿元、6.71 亿元，对应EPS 分别为0.99元、1.11 元、1.25 元，首次覆盖，给予增持-A 建议。

    风险提示：行业景气度不及预期、半导体设备进口替代不及预期、研发进度不及预期、竞争加剧导致毛利率下降等。