公司发布2020 年年报，实现营收22.73 亿元，同比增长16.76%，归属于上市公司股东的净利润4.92 亿元，同比增长161.02%。毛利率从上年度的34.9%升至2020 年的37.7%，上升了2.8 个百分点。

    　　支撑评级的要点

    　　收入结构优化，业绩快速增长。2020 年，公司实现营业收入22.73 亿元，同比增长16.76%，其中受益于下游需求增长、产品竞争优势，刻蚀设备收入为12.89 亿元，同比增长约58.49%，而MOCVD 设备收入为4.96 亿元，同比下降约34.47%。2020 年，归属于上市公司股东的净利润同比增长161.02%至4.92 亿元，主要原因是中芯国际股票投资公允价值变动、政府补助同比增加约2.6 亿元；扣非后净利润为0.23 亿元，同比减少84.19%，主要系2020 年新增计入经常性损益的股份支付费用约1.24 亿元所致。

    　　ICP 刻蚀工艺验证范围扩大，且已获得重复订单。公司ICP 刻蚀设备已经逐步趋于成熟， 新推出的 Primo nanova 产品在 10 家客户的生产线上进行验证，已有超过 50 个工艺在客户的生产线上达到指标要求，且持续扩大应用验证范围。2020 年开始， Primo nanova 产品逐步取得客户的重复订单。 尤其是 2020 年下半年，在国内存储客户的扩产带动下， 该产品的销售取得较大进展。在持续提升 Primo nanova 刻蚀设备的市场份额的同时，公司研发的具有高输出率特点的双反应台 ICP 刻蚀设备 PrimoTwin-Star 也已经在客户端完成认证。

    　　定增100 亿元获批，助力高强度研发。2020 年，公司研发投入总额6.40亿元，剔除股份支付为5.91 亿元，同比增长39.16%。对比2020 年中报，公司在IC 研发项目方面，新增了“用于5-3 纳米逻辑芯片制造的ICP 刻蚀机”和“用于硅基GaN 功率器件生产的MOCVD 设备”两个项目，原有研发项目“台阶及两次图形曝光刻蚀设备研发及产业化”从研究阶段进入开发阶段。。公司拟定增不超过100 亿元，用于中微产业化基地建设项目、中微临港总部和研发中心项目、科技储备资金等项目，提高产能、丰富公司产品线，缩小与国际龙头Lam Research、Applied 等研发投入差距。

    　　盈利预测和投资建议

    　　结合业务结构和刻蚀设备需求的增长、股权激励费用增加、交易性金融资产变动等因素，预计2021-23 年公司净利润分别为4.46/7.50/9.55 亿元。

    　　考虑下游景气度和公司各类刻蚀设备市占率提升，以及ICP 刻蚀设备趋于成熟后打开天花板，维持买入评级。

    　　评级面临的主要风险

    　　行业景气度高导致设备零部件供不应求；ICP 产业化进展低于预期，介刻蚀市占率上升低于预期等。