结论与建议：

    公司2020 年营收增长近2 成，其中半导体刻蚀设备收入增长近6 成，我们预计2021 年随着半导体景气的持续提高，晶圆厂资本开支力度将不断加大，得益于此，我们预计未来公司盈利能力进一步提升。从估值来看，公司2022年PS 预计约17 倍，公司作为国内领先刻蚀设备厂商估值享有一定溢价，上调至买进的评级。

    补贴及公允价值变动推升公司业绩大幅增长：公司发布业绩快报，2020年实现营收22.8 亿元，YOY 增长16.8%，其中受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，公司2020 年刻蚀设备收入为12.9 亿元，同比增长约58.5%；实现净利润4.9 亿元，YOY 增长161%，扣非后净利润2332万元，YOY 下降84%。公司净利润增长但扣非后净利润下降主要因素有2方面：1 政府补贴2.3 亿元以及间接持有中芯国际股权公允价值变动产生收益2.6 亿元 2 股权激励费用1.24 亿元，若扣除该部分影响，公司2020 年扣非后净利润约1.5 亿元，基本与2019 年持平。分季度来看，4Q20 公司营收8 亿元，YOY 增长9%，实现净利润2.2 亿元，YOY 增长近300%，扣非后净利润0.69 亿元，YOY 增长146%。总体来看，公司营收规模相对较小，补贴等因素对业绩影响较为明显，但我们判断得益于行业景气高涨，全球半导体投资增速将提高，随着国内半导体设备需求的快速增长，公司扣非后业绩增长弹性将更为明显。

    盈利预测：综合判断，我们预计公司2021、2022 年营收分别为30 亿元和41 亿元，YOY 增长32%和35%，净利润4 亿元和5 亿元，YOY 分别下降20 和增长27%，预计扣非后净利润分别为2 亿元和2.9 亿元，YOY 分别增长750%和48%，EPS 分别为0.74 元和0.94 元， 目前股价对应2022年PE133 倍，2022 年PS 预计约17 倍，公司作为国内领先刻蚀设备厂商估值享有一定溢价，上调至买进的评级。

    风险提示： 新冠疫情拖累半导体设备需求增长。