刻蚀设备增长较快，MOCVD 受下游需求影响明显：公司2020 年业绩预告，预计2020 年实现归母净利润4.4-5.2 亿元，同比增加133%到176%；实现营收较上年增长约16.8%。其中，受益于半导体设备下游需求及公司产品竞争优势，刻蚀设备收入增长约58.5%；而受市场原因，公司2020 年MOCVD 设备收入下降38.5%。另外，公司2020 年因实施股权激励计划产生股份支付费用约1.19 亿元；间接持有中芯国际产生公允价值变动收益2.62 亿元；计入非经常性损益的额政府补助较上年增加2.26 亿元。

    提升产业链协同能力，加快技术推进和产能建设：2020 年12 月，公司增资上海睿励1 亿元，加码布局集成电路工艺检测设备领域。

    目前公司正推进定增100 亿元用于中微产业化基地建设项目（其中等离子体刻蚀设备、MOCVD 设备、热化学CVD 设备等新设备产能规划情况分别约为630 腔/年、120 腔/年、220 腔/年）、临港总部研发中心项目及科技基金储备。公司在半导体领域持续加码，有望推动技术进步和升级，提高公司竞争力，增强半导体设备产业链协同。

    半导体设备进口替代空间大，进程正在加速：据Gartner，预计2021年半导体行业开始复苏，全球芯片制造厂设备支出2024 年将增长至602 亿美元。全球半导体产业正处于第三次迁移过程当中，受益于本土半导体产能投资扩张，我国大陆半导体设备市场需求高涨。2020年我国前道半导体设备市场规模将达到614.5 亿元，占全球半导体设备总投资约20%。随着2021 年全球半导体产业景气度复苏，预计2024 年中国大陆芯片制造厂设备支出增长至128 亿美元，2020-2024 年CAGR 为7.5%。公司是国内领先的刻蚀设备制造商，等离子体刻蚀设备已应用于国际先进的14、7、5 纳米生产线，并正在验证5 纳米以下加工能力，具备和国际一线厂商同台竞争的实力。

    维持“增持”评级。考虑到公司主要产品下游需求的变化，以及公司股权激励、股权投资等对盈利的影响，并暂不考虑此次定增的影响，我们适当调整公司盈利预测，预计公司2020-2022 年营业收入分别为22.7 亿元、29.9 亿元、42.4 亿元，归母净利润分别为4.86 亿元、6.26 亿元、8.39 亿元，动态PE 为169、131、98 倍，维持“增持”评级。

    风险提示：半导体行业复苏不及预期、我国大陆半导体设备进口替代需求不及预期、新产品研发进程不及预期、定增推进进度不及预期等。