投资要点：

    　　公告：2022 营业收入30.5 亿，同比增长46.32%，主要系集成电路业务增长；扣除非经常性损益后的归母净利润2.85 亿元（yoy +76%），主要系公司业务增长所致的利润增加。

    　　23Q1 实现营收7.84 亿元（yoy +43%），归母净利润0.63 亿元（yoy +186%），扣非归母净利润0.58 亿元（yoy +49%）。22Q4 及23Q1 营收及归母净利润符合申万预期。

    　　23Q1 营收及订单均实现高增。23Q1 实现营收7.84 亿元（yoy +43%）；毛利率34%，同比下降1.3pct，随着湿法设备规模销售，毛利率有望回升；合同负债3.03 亿元，较22年末2.70 亿元有所上升。23Q1 经营性现金流量净额2.07 亿元，近年首次转正。

    　　至纯科技目前80%业务在半导体行业，半导体湿法制程设备新增订单快速增长，湿法设备订单中高阶设备占比6 成，积累行业优质客户。2019-2022 年，新增订单分别为14/20/32/36/42 亿元(yoy +30.6%)；湿法设备板块，公司2015 年起研发，2019-2022年湿法设备新增订单分别为1.7/5.3/11.2/18 亿元(yoy +60.7%)，积累了中芯国际、合肥长鑫、上海华虹等集成电路一线客户群。2021 年，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，目前能满足28nm全部湿法工艺需求，在14nm以下制程有4 台订单。

    　　除上海紫竹本部及研发中心外，在江苏启东建有设备研发制造基地（其中少量湿法制程设备在日本工厂），在安徽合肥设有晶圆及部件再生服务中心，在浙江海宁设有精密制造基地。目前湿法制程设备产能扩至150 台，“单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目”将成为公司高阶制程单片湿法装备及零部件研发与产业化基地，形成高阶制程单片湿法模块年产100 套，各类零部件年产近2000 套。和“至纯北方半导体研发项目”将实现年产系统集成及支持设备30 套、半导体湿法设备15 台、半导体零部件2,610 套的生产能力。“启东半导体装备产业化基地二期项目”研发并量产炉管与涂胶显影等集成电路设备、光伏制绒清洗设备等泛半导体工艺设备，布局新品类及新应用领域，项目投资额8 亿，将形成年产炉管、涂胶显影等集成电路设备50 套，光伏工艺设备120 套，面板制程设备10 套，系统集成及工艺设备逾3 千套，配套零部件逾3 万套，预计年收入12.1 亿元。

    　　部件材料与专业服务涵盖设备零部件的供应、大宗气站服务、部件清洗服务、晶圆再生服务、晶圆工厂驻厂服务等。2021 年以来合肥晶圆再生项目已正式量产爬坡，是国内首条12 英寸晶圆再生产线，首条部件清洗项目为国内首条完整阳极产线，年产168 万片晶圆再生和120 万件半导体零部件再生。

    　　新增盈利预测，维持“买入”评级。维持2023/24 年归母净利润预测5.01/6.45 亿元，新增2025 年预测7.34 亿元，2023PE 27X，维持买入评级。

    　　风险提示：清洗设备订单不及预期；新产能不及预期；投资失败或亏损风险。