核心观点：

    　　营业收入持续成长，扣非净利润增速加快。公司披露2022 年年报，实现营业收入30.5 亿元，同比+46.3%；实现归母净利润2.8 亿元，同比+0.2%；扣非净利润2.9 亿元，同比+76.0%。其中22Q4 实现营业收入11.2 亿元，同比+40.2%；实现归母净利润1.2 亿元，同比+28.0%。

    　　盈利能力收紧，新签订单保证业绩持续性。22 年公司归母净利率为9.2%，同比-4.5pct 主要系非经常性损益下降所致。2022 年公司新签订单42.2 亿元，同比+30.6%，其中半导体设备订单占比增至42.7%。

    　　清洗设备向先进制程进军，高纯系统中支持性设备占比提升。公司清洗设备涵盖90-7nm 制程，其中高阶产品突破SPM 高温硫酸、晶背清洗等工艺并逐渐放量，14nm 及以下产品共有4 台交付；高纯工艺集成中支持性设备业务占比提高至近40%，打破国外垄断供给格局。

    　　半导体设备版图扩张，拓展光伏设备并获得批量订单。22 年公司组建团队攻克半导体涂胶显影设备、炉管设备，其中8 英寸涂胶显影设备已交付客户验证，8 英寸炉管设备已有数台订单；同时凭借半导体工艺优势降维切入光伏制绒清洗设备，并迅速拿到60 台设备订单。

    　　切入部件材料及专业服务领域，持续拓展品类。22 年公司拓展半导体关键零部件业务，目前尚处于产品验证阶段；建设国内首条12 寸晶圆再生的产线，获得近十家客户验证并正式接单；建成首座完全国产化的12 英寸晶圆28nm 制程大宗气站，于2022 年初顺利通气并已稳定运行一年以上。Opex 业务改善公司现金流，并打开远期成长空间。

    　　盈利预测与投资建议：预计公司2023-2025 年实现归母净利润5.33、7.36、9.77 亿元，EPS 分别为1.66、2.29、3.04 元/股。给予公司2023年35xPE，对应合理价值57.97 元/股，给予“买入”评级。

    　　风险提示：行业周期波动风险，零部件供应链风险，行业竞争风险。