投资要点：

    　　至纯科技（603690）披露年报，公司2022 年实现营业收入30.5 亿元，同比增长46.32%；净利润2.82 亿元，同比增长0.24%；基本每股收益0.89元；拟每10 股派发现金红利1.324 元（含税），并每10 股派送红股2 股（含税）（每股面值1 元）。

    　　营业收入和扣非业绩高速增长，半导体制程设备逐步到收获期公司2022 年实现营收30.50 亿元，同比增长46.32%；归母净利润2.82亿元，同比增长0.24%；扣非后归母净利润2.85 亿元，同比增长76.03%。

    　　其中，2022Q4 公司实现营收11.24 亿元，同比增长40.23%；实现归母净利润1.2 亿元，同比增长27.96%。公司营业收入高速增长，2021 年公司获得政府补助和投资收益及公允价值变动较高，剔除非经营性损益影响，公司2022 年业绩实现了高速增长。

    　　2022 年分产品看：系统集成及材料营业收入22.51 亿元，同比增长63.03%；设备销售收入7.94 亿元，同比增长13.24%。

    　　分行业看，公司泛半导体业务营业收入26.98 亿，同比增长43.88%，占主营收入比例为88.46%，生物医药行业营业收入3.47 亿，同比增长67.86%，占主营业收入比例为11.38%。

    　　公司业务目前80%在半导体行业，由原来单纯的高纯工艺系统建设调整为系统与支持设备并举，为客户提供部件材料与专业服务，涵盖设备零部件的供应、大宗气站服务、部件清洗服务、晶圆再生服务、晶圆工厂驻厂服务等。公司的核心业务紧紧围绕为晶圆厂提供从前期建设到稳定运营阶段全生命周期的产品和服务。

    　　公司湿法清洗设备能完全覆盖晶圆制造中包括先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。目前公司湿法设备已能满足28nm 全部湿法工艺需求，截至报告期，核心工序段的高阶设备累计订单量近20 台，14nm 及以下也有4 台订单交付。

    　　公司跟动市场需求，整合现有人才及技术研发拓展炉管和涂胶显影设备。8 英寸炉管设备已有数台订单，12 英寸炉管设备正在研发制造，即将进入客户验证阶段。8 英寸涂胶显影设备已交付客户验证，12 英寸涂胶显影设备尚处在专利检索及技术评估阶段。涂胶显影和炉管设备的验证周期预计为6-12 个月，验证通过后公司半导体制程设备从清洗设备为主进一步向其他工序环节 拓展。

    　　毛利率小幅下降，扣非盈利能力提升明显

    　　2022 年报公司毛利率35.36%,同比下滑0.83pct，分业务类型来看，系统集成及材料业务、设备业务毛利率分别为36.40%、32.31%，同比分别下降1.77 个百分点、0.17 个百分点；扣非净利率9.19%，同比上升1.58pct，增长主要原因是规模效应明显，各项费用率下降明显，公司2022 年四项费用率，同比2021 年23.82%下降1.85 个百分点。

    　　2022 年报公司扣非加权ROE 为6.4%，同比上升2.41 个百分点。

    　　订单饱满，制程设备、材料、零部件多足发力支撑未来高速增长随着公司半导体制程设备验证通过，公司近年订单情况良好。2022 年公司新增订单总额为42.19 亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18 亿元，同比增长60.71%。2023 年公司预计新增订单区间为52-57亿元，制程设备订单区间为20-25 亿元。

    　　我们认为美国半导体制裁持续加严加深，有利于国产半导体设备企业进口替代，公司未来仍将持续受益半导体国产自主可控的产业趋势，订单完成预定目标的概率较大。此外，公司在半导体清洗设备以往衍生拓展了涂胶显影和炉管设备，验证周期即将完成，有望开拓新的半导制程设备品种，拓宽公司天花板。此外，公司在半导体材料及零部件端的业务拓展也卓有成效，多足发力促进公司订单持续增长。

    　　盈利预测与估值

    　　鉴于公司扎根泛半导体业务多年，在高纯工艺系统集成优势明显，半导体清洗设备订单饱满业绩释放，其他制程设备有望通过验证打开新增长点，另外公司半导体材料、部件业务有望发力，成为新增长点。我们预测公司2023 年-2025 年营业收入分别为41.56 亿、52.51 亿、63.74 亿，归母净利润分别为4.83 亿、6.53 亿、8.48 亿，对应的PE 分别为27.44X、20.29X、15.62X，继续维持“增持”评级。

    　　风险提示：1：宏观经济不及预期；2：下游行业需求不及预期；3：原材料价格上涨，毛利率下滑；4：材料、部件业务拓展不及预期；5：显影、炉管设备进展不及预期。