事件：

    　　公司发布2022 年年报，公司2022 年度实现营收30.50 亿元，同比增长46.32%；实现归属于母公司所有者净利润2.82 亿元，同比增长0.24%；实现扣非归母净利润2.85 亿元，同比增长76.03%。

    　　从Q4 单季度来看，2022 年Q4 实现营业收入11.24 亿元，环比增长39.53%；实现归母净利润1.20 亿元，环比增长47.29%；实现扣非归母净利润1.00 亿元，环比增长12.93%，Q4 单季度收入环比持续高增。

    　　2022 年营收同比高增，在手订单饱满：

    　　公司2022 年营收较上年同期大幅增长，其中系统集成及材料22.51亿元，同比+63.03%；半导体设备业务收入7.94 亿元，同比+13.24%，半导体设备收入同比增速放缓，主要原因是22Q4 美国制裁影响了国内晶圆厂扩产，公司产品交付有所延后。2022 年销售毛利率为35.36%，同比减少0.83pct，其中系统集成及材料、设备业务毛利率分别为36.40%和32.31%，同比减少1.77pct 和0.17pct，主要系公司前期开拓市场，给予了一定价格优惠。从订单来看，2022 年度，公司新增订单总额为42.19 亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18.00 亿元，同比增长60.71%。2023 年公司预计新增订单区间为52-57 亿元，中值54.5 亿元，同比增长29.18%；其中制程设备订单区间为20-25 亿元，中值22.5 亿元，同比增长25.00%，在手订单饱满。

    　　半导体清洗设备国内领先，新品有望进一步打开成长空间：

    　　公司目前80%的业务服务于集成电路领域，主营业务主要包括半导体制程设备、系统集成及支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的部件材料及专业服务。（1）湿法设备：公司湿法设备能满足28nm全部湿法工艺需求，且全工艺机台均有订单。截至目前，核心工序段的高阶设备累计订单量近20 台。14nm 及以下也有4 台订单交付。

    　　2022 年下半年首台单晶槽式制绒清洗设备下线，报告期末在手制绒设备订单约60 台。（2）系统集成业务：公司是国内最大的高纯工艺系统支持设备供应商，公司系统集成及支持设备已经能够实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，核心客户均为行业一线集成电路制造企业如中芯国际、华虹、华力、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。

    　　（3）部件材料与专业服务：公司已在合肥建有国内首条完整部件清洗阳极产线，为晶圆厂或设备厂提供设备内部件的清洗与表面处理。

    　　至2022 年末，已通过近十位客户验证并形成订单。（4）炉管和涂胶显影：公司积极研发炉管和涂胶显影设备，8 英寸炉管设备已有数台　　订单，12 英寸炉管设备正在研发制造，即将进入客户验证阶段。8 英寸涂胶显影设备已交付客户验证，12 英寸涂胶显影设备尚处在专利检索及技术评估阶段。随着新设备的逐步起量，公司成长空间有望进一步打开。

    　　投资建议：

    　　我们预计公司2023-2025 年的收入分别为43.30 亿元、54.13亿元、64.96 亿元，归母净利润分别为5.22 亿元、6.99 亿元、8.43 亿元，维持“买入-A”。

    　　风险提示：下游需求衰减风险，市场竞争加剧风险，国产替代不及预期。