事件：公司发布2 022年年报。

    　　制裁&疫情影响设备业务交付，新签订单饱满收入端有望加速扩张2022 年公司实现营业收入30.50 亿元，同比+46.32%，其中Q4 为11.24 亿元，同比+40.23%，延续高速增长，基本符合预期。分行业来看，公司目前 80%业务服务于集成电路领域，2022 年泛半导体、生物及制药行业分别实现收入26.98 和3.47 亿元，同比+43.88%和+67.17%，收入占比分别为88.47%和11.39%。分产品来看：1）系统集成及材料：包含高纯工艺集成系统、光传感及光器件等业务，2022 年实现收入22.51 亿元，同比+63.03%，加速增长，超过我们预期；2）设备业务（半导体清洗设备）：2022 年实现收入7.94 亿元，同比+13.24%，增速明显放缓，低于我们预期，我们判断主要系2022 年下半年以来美国制裁影响晶圆厂产线扩建节奏，同时疫情对半导体清洗设备交付产生一定影响。展望未来，2022 年底公司合同负债和存货分别为2.70 和17.05 亿元，分别同比+12.65%和+44.13%。新签订单方面，2022 年公司新增订单42.19亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18.00 亿元，同比增长60.71%。2023 年公司预计年度新增订单区间在52-57 亿元，制程设备订单区间为 20-25 亿元。随着相关订单陆续交付，公司收入端有望延续高增长。

    　　公允价值变动&信用减值压制利润表现，2022 年扣非净利润同比+76%2022 年公司归母净利润和扣非归母净利润分别为2.82 和2.85 亿元，同比+0.24%和+76.03%，其中Q4 分别为1.20 和1.00 亿元，同比+27.96%和+22.27%。

    　　2022 年销售净利率和扣非销售净利率分别为9.19%和9.36%，分别同比-4.45pct和+1.58pct，真实盈利水平有所提升。1）毛利端：2022 年销售毛利率为35.36%，同比-0.83pct，其中系统集成及材料、设备业务毛利率分别为36.40%和32.31%，同比-1.77pct 和-0.17pct，设备业务毛利率出现一定下滑，我们判断一方面系2022 年收入确认多为2021 年及之前签单，价格端有一定优惠；另一方面系原材料成本较高，同时积极导入国产供应链，具备一定试错成本。展望2023 年，随着批量订单陆续确认收入，叠加零部件规模化&国产化降本，公司设备业务毛利率具备较大提升空间。2）费用端：2022 年期间费用率为21.97%，同比-1.85pct，是真实盈利水平提升的主要原因，其中销售、管理、研发和财务费用率分别同比-0.83pct、+0.59pct、-0.61pct 和-0.99pct。3）2022 年公司公允价值变动净收益为-2828 万元，2021 年为6460 万元；2022 年信用减值损失达到-1.11 亿元，2021 年为-6245 万元；同时2022 年计入非经常性损益的政府补助仅为2842 万元，2021 年为8133 万元，均明显压制公司实际利润端表现。

    　　半导体清洗设备充分受益进口替代，布局耗材&服务打开成长空间在设备业务端，公司清洗设备具备持续扩张潜力，同时积极布局炉管、涂胶显影等领域。1）清洗设备：在半导体领域，公司已能满足28nm 全部湿法工艺需求，且全工艺机台均有订单，核心工序段的高阶设备累计订单量近20台，14nm 及以下也有4 台订单交付，国产替代驱动下有望延续快速发展。在光伏领域，2022 年下半年首台单晶槽式制绒清洗设备下线，后续很快拿到近60 台制绒设备订单，快速放量。2）其他半导体设备：公司积极研发拓展炉管　　和涂胶显影设备，8 英寸炉管设备已有数台订单，12 英寸炉管设备即将进入客户验证阶段，8 英寸涂胶显影设备已交付客户验证。

    　　此外，公司积极布局耗材&服务，进一步打开成长空间。1）晶圆再生：

    　　公司合肥一期产能7 万片/月已经投产，是国内首条投产的 12 英寸晶圆再生产线，预计2023 年达产；二期规划产能14 万片/月，先发优势明显。2）大宗气体：公司高纯工艺系统主业的纵向延伸，二者客户端协同性较强。公司正在投资建设半导体级的大宗气体工厂，为用户提供至少 15 年的高纯大宗气体整厂供应。3）零部件：2021 和2022 年募投均重点加码零部件业务，其中2022年募投新增单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，旨在研发先进制程工艺的高阶半导体湿法工艺模块、单片式腔体、高纯度阀等，适用于14nm及以下的逻辑芯片及高密度存储芯片的制造工艺及产业化，能够大力推动单片式腔体的国产化进程。项目达成后，公司将形成高阶制程单片湿法模块年产100 套，各类零部件年产近2,000 套的生产能力，夯实核心竞争力。

    　　盈利预测与投资评级：考虑到公司订单加速交付，我们调整2023-2024 年归母净利润预测分别为5.71 和7.86 亿元（原值5.57 和7.42 亿元），并预计2025 年归母净利润为10.11 亿元，当前市值对应动态PE 分别为25、18 和14 倍。基于公司较高的成长性，维持“买入”评级。

    　　风险提示：新产品研发不及预期，订单客户突破不及预期等。