至纯科技是中国半导体清洗设备巨头企业。公司主业包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技通过增资扩股引入战略投资者，目前战略投资者持有至微科技比例约22%，增资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、远致星火等。公司2022H1 实现收入11.2 亿元；实现扣非归母净利润0.97 亿元，同比增长128%。公司2022 年目标新增订单40 亿元，其中湿法设备订单20 亿元以上（单片设备占比60%），2022H1 公司新增订单23.62 亿元，同比增长37%。

    　　半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期。至纯科技提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品等。目前至纯科技是国内能提供到28nm节点全部湿法工艺的本土供应商。目前公司湿法设备客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。公司已陆续在2022 年交付4台14nm 以下制程的设备。2022H1 至纯半导体制程设备新增订单8.06 亿元，同比增长87%；实现收入4.66 亿元，同比增长73%，毛利率提升11.21pcts达35.11%。我们预计22-24 年该业务收入为13.1、18.7、24.9 亿元。

    　　半导体工艺支持设备有望快速增长，长存大单彰显实力。公司该业务包括高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等。该类设备作为和氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积、研磨、清洗等工艺机台的工艺腔体连为一个工作系统的支持性设备，和工艺良率息息相关，相当于工厂的心血管系统。目前公司该业务客户包括中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士、三星、台积电、力晶等。2022 年8 月，公司中标长江存储2.76 亿元特殊气体系统包，主要供货各类工艺气体（含用于氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积等干法工艺）的特气设备。我们预计22-24 年该业务收入为12.5、15.0、18.0 亿元。

    　　半导体服务业务空间广阔。（1）半导体级大宗气体整厂供气服务：公司建设国内首座完全国产化的12 英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂，2022 年年初已顺利供气，该工厂将向先进制程客户持续供应电子级氢气、氮气、氧气。（2）晶圆再生及部件清洗服务：公司在合肥投产国内首条12 英寸晶圆再生产线。

    　　盈利预测、估值与评级。我们维持公司2022-2024 年的归母净利润为3.81、5.55、7.26 亿元，当前市值对应PE 分别35x、24x、18x，维持“买入”评级。

    　　风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期