公司2022 年1-2 月营业收入实现3 倍增长，湿法设备进入放量期。2022 年1-2月公司实现营业收入2.2 亿元，同比增长388.14%，2022 年至今新增订单总额为7.7 亿元，其中湿法设备新增订单2.9 亿元。2021 年度，公司新增订单总额为32.30 亿元，同比增长64.80%，其中半导体设备新增订单11.20 亿元，同比增长111.32%。我们预计公司2022 年湿法设备订单有望达到20 亿元，该业务步入放量期。

    推第四期股权激励计划，彰显公司对未来发展的信心。2022 年2 月8 日，公司推第四期股票期权与限制性股票激励计划，本激励计划首次授予的激励对象共计76 人，其中股票期权激励计划拟授予激励对象股票期权165 万份，限制性股票激励计划拟授予激励对象限制性股票135 万股。本激励计划授予的股票期权的行权价格为46.50 元/股，限制性股票的授予价格为23.25 元/股，彰显公司对未来发展前景的信心。

    至纯科技能提供全部28nm 节点湿法设备，有望成为高端湿法设备的领先者。

    至纯科技采用先进的Nano Spray 技术，目前已经可以提供28nm 节点的全部半导体湿法工艺设备，2021 年在14-7nm 技术世代已经接到4 台套机台多个工艺的正式订单，将于2022 年交付至客户产线验证。我们预计公司2022-2023 年半导体湿法设备订单可达20/30 亿元，2021-2023 年清洗设备收入分别为7.68/13.90/18.68 亿元，有望成为高端湿法设备的领先者。

    盈利预测、估值与评级：至纯科技是国内领先的半导体湿法设备巨头企业，随着湿法设备业务开始放量，公司将迎来快速发展期。我们维持至纯科技2021-2023年的归母净利润分别为3.47、3.81、5.55 亿元，当前市值对应的PE 分别为33x、30x、21x，维持“买入”评级。

    风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。