事件：公司发布《 2021年度新增订单及近期主要经营情况的公告》，2021年及2022 年1-2 月接单情况持续向好，2022 年1-2 月营收大幅上涨，对此点评如下：

    营收快速增长，2022Q1 及全年景气有望延续。公司主营业务分为高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光传感应用及相关光学元器件等三部分。

    经公司初步核算，2022 年1-2 月公司实现营业收入2.2 亿元，同比增长388.14%。2022 年前两个月的收入已达2021Q1 的95%（2021Q1 营收为2.31 亿元），我们认为受益于下游的旺盛需求和公司自身产能的逐步释放，2022Q1 及全年景气有望延续。

    半导体清洗设备订单增速亮眼，单片式设备占比提升明显。自2018 年公司的半导体湿法清洗设备获得核心客户订单以来，该类设备订单量由2019 年的1.7 亿，提升至2020 年的5.3 亿(yoy211.76%)、2021 年的11.20亿(yoy111.32%)，呈现快速增长的态势；2022 年截至公告日期（3 月15日），新增湿法设备新增订单2.9 亿元。技术含量及附加值更高的单片设备的订单亦大幅增长，2020 年首批单片湿法设备交付并多工艺顺利通过验证，当年单片设备订单3.66 亿元，占比69.06%。单片设备的快速放量进一步增强了公司的竞争优势。

    对标DNS，看好公司作为半导体湿法清洗设备龙头企业的长期成长性。

    至纯所使用的湿法清洗技术是国际主流NENO SPRAY 技术，对晶圆基底无损伤，清洗效果好、良率高，技术参数直接对标国际湿法清洗设备龙头供应商的相同型号。据2021 年半年报，公司已可以提供28nm 节点的全部湿法工艺设备，更先进的14nm~7nm 技术世代已接到多个工艺的正式订单；公司产品也进入了中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。我们认为，随着中国大陆晶圆厂商不断加大对28nm 及更先进制程的资本开支，至纯将凭借产品对标主流技术路线的优势，迎来快速放量阶段，成长为国内湿法清洗设备的领先企业。

    投资建议与评级：预计公司2021-2023 年净利润分别为2.91/3.98/5.42 亿，对应PE 分别为38x、28x、20x，首次覆盖，给予“增持”评级。

    风险提示：PET 复合铜箔验证不及预期，PCB 需求不及预期