事件：10月29日，公司发布三季报。前三季度实现营收12.83亿元，同比增长68.71%；归母净利润1.88 亿元，同比增长127.96%；扣非归母净利润0.81 亿元，同比增长97.55%。单Q3，实现营业收入3.62 亿元，同比增长51.68%；归母净利润0.38 亿元，同比增速-27.72%；扣非归母净利润0.38 亿元，同比增长143.76%。

    　　业绩符合预期，收入&利润均实现高速增长

    　　前三季度公司实现营收12.83 亿元，yoy+68.71%，实现高速增长，主要系高纯系统业务及半导体设备业务快速扩张所致；归母净利润1.88 亿元，yoy+127.96%，主要系公司收入规模整体规模及非经常性损益增加所致。

    　　单Q3，公司营业收入3.62 亿元，同比增长51.68%；归母净利润0.38 亿元，同比增速-27.72%，主要系相较于去年同期非经常性损益减少所致；扣非归母净利润0.38 亿元，同比增长143.76%，扣非利润增速快于收入增速，主要系公司盈利能力提升，扣非后净利率提升。

    　　盈利能力提升，彰显公司内部管控水平

    　　前三季度公司销售毛利率35.39%，同比降低0.38pct；销售净利率14.42%，同比提高3.70pct；扣非后销售净利率6.28%，同比提升0.92pct。在毛利率基本不变的背景下，净利率与扣非后净利率均获得不同程度的增长，主要系期间费用率降低2.15pct，彰显公司内部管控水平。其中，销售费用率4.56%，同比降低0.04pct；管理费用率10.72%，同比降低0.79pct；研发费用率5.48%，同比降低0.69pct；财务费用率4.47%，同比降低0.71pct。下游需求旺盛，预期随着公司产品竞争力提升，叠加公司精益化管理，盈利水平有望持续提升。

    　　发展战略清晰，各业务条线加快发展

    　　①高纯工艺集成系统：集成电路产业景气拉动高纯工艺集成系统需求，并不断推出攻坚克难，半导体级先进前驱体物料供应系统（LDS）、干式特殊气体排放处理设备（Dry Scrubber）等订单陆续交货，收入规模有望持续增长。②湿法清洗设备：具备提供28nm 节点的全部湿法工艺设备能力，进入到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线，与下游客户建立了良好合作关系。随着安徽合肥厂与江苏启东厂产能达产，公司清洗设备年产能可达140 台，放量在即。③晶圆再生业务：7 月已正式投产，运行情况良好，部分产品已送往下游客户进行验证。公司从工程配套系统业务逐渐转向设备、材料等核心业务，业务结构逐渐优化，是国内相关半导体企业转型典范，有望乘行业东风加速发展。

    　　投资建议

    　　预计公司2021-2023 年EPS 分别1.06/1.39/1.59 元，对应PE44.60/34.23/29.84X。维持 “增持”评级。

    　　风险提示

    　　下游晶圆厂资本开支不及预期，行业竞争加剧、全球贸易摩擦深化带来半导体全产业不确定性