事件

    　　10 月29 日盘后，公司发布三季报，前三季度实现营收12.83 亿元，同比增长68.71%；归母净利润1.88 亿元，同比增长127.96%。

    　　扣非净利润为0.81 亿元，同比增长97.55%。

    　　简评

    　　一、营收净利润双增长，新签订单持续增长

    　　1）2021 年1-9 月营业收入12.83 亿元，较上年同期增加约5.23亿元，主要系集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加所致；2）公司扣非净利润为0.81 亿元，同比增长97.55%。归母净利润1.88 亿元，扣非净利润为0.81 亿元，主要系公司收入规模整体增加、公允价值变动损益及补贴收入增加所致；3）Q3 营业收入3.62 亿元，同比增长51.68%，环比下降47.48%，归母净利润为0.38 亿元，同比下降27.72%，环比下降50.06%，主要由于子公司波汇季节性收入确定高峰一般在Q2/Q4，而去年同期确认收入提前，导致公司利润略有波动。4）在手订单饱满，其中上半年公司整体业务新增订单达到 17.2 亿元，达到去年全年新增订单的 88%，湿法设备订单中单片设备新增订单 2 亿元，下半年随着公司认证进度加快，新增订单保持高增长。

    　　二、重心发展湿法设备，覆盖28nm 节点全部湿法工艺至微科技主要负责湿法设备及晶圆再生服务业务，湿法设备业务保持健康增长势头，晶圆再生业务已于 2021 年7 月正式量产，有望在 2021 年度贡献 2 个月度的产值。12 寸单片设备是事业部持续快速增长的重中之重，单片机占新增订单达到50%以上，目前公司已可以提供 28nm 节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，下半年将有7 台套 12 寸槽式设备和 8 台套 12 寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。公司在更先进的14nm~7nm 技术世代已接到 4 台套机台多个工艺的正式订单，将于 2022 年交付至客户产线验证。

    　　三、拟发行可转债不超过11 亿元，横纵拓展设备及零部件品类本次拟发行可转债总额不超过人民币11 亿元，其中3.5 亿元用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目，2.5亿元用于至纯北方半导体研发生产中心项目，1.7 亿元用于半导体设备模组及部件制造项目，3.3 亿元用于补充流动资金或偿还银行贷款。近期公司控股子公司至微科技增资扩股引进战略投资，以及此次非拟发行可转债，主要目的为：1）将针对 14nm 及以下工艺节点的高阶单片湿法工艺模块、单片式腔体及耐腐蚀性、高精密度的核心零部件进行研发，有助于满足 14nm 及以下高阶工艺节点的需求，提升在高宽深比条件下的湿法工艺模块研发能力，实现整机产品在 14nm 及以下的逻辑芯片及 1Xnm 存储芯片、以及特殊工艺的制造应用，提高公司半导体核心零部件研发水平，巩固公司在国内的半导体湿法设备及关键零部件行业领先地位。2）公司现有的半导体湿法清洗设备 28nm 的研发及生产的技术积累（包括湿法去胶、刻蚀、清洗、刷洗），拟在北京亦庄设立湿法设备、半导体零部件及高纯工艺系统北方产业制造基地，有助于扩大公司产品品类和生产规模、增强公司产品下游应用领域，3）拟在海宁实施半 导体模组及部件制造项目，项目的顺利实施利于推动我国关键半导体零部件进口 替代，利于进一步丰富及优化公司的业务结构、增强公司的综合竞争力。

    　　四、国产化路径清晰，给予“买入”评级

    　　公司作为本土半导体清洗设备领先企业，在集成电路领域，公司已经具备了在先进制程关键工序同国外竞争对手一比一替代包括半导体湿法设备、晶圆再生、高纯系统等产品及服务的能力；在光电子领域，公司依赖强劲的技术研发能力始终紧贴全球光学技术的发展方向，积极在国内拓展业务应用领域，保持在市场上领先的竞争地位。我们预计2021-2023 年营收为19.77/26.09/33.14 亿元，对应归母净利润3.25/5.37/6.92 亿元，EPS,0.84/1.38/1.78 元/股，对应PE 57/34/27X，基于公司单片湿法设备进入放量期，以及国内晶圆厂建设进入高峰期，以2022 年50XPE 给予6 个月目标价68.19 元/股，给予“买入”评级。

    　　风险提示：1）先进制程工艺突破不达预期；2）零部件进口受阻行业催化剂：1）景气度上行；2）客户资本开支提升