公司公告：发布2021 三季报，实现收入12.83 亿元，同比增长68.71%，归母净利润1.88亿元，同比增长127.96%，扣非归母净利润8052.68 万元，同比增长97.55%。其中三季度单季实现收入3.62 亿元，同比增长51.68%，归母净利润3771.54 万元，同比下降27.72%。

    　　收入保持高增长，利润受季节性波动略有下滑。由于公司部分业务的收入确认具有明显季节性,21Q3 营收与利润与二季度相比增速放缓，且Q3 收入环比有所下滑，主要受波汇科技子公司收入确认具有明显的季节特性影响，预计大部分收入将于Q4 确认。21Q1、21Q2、21Q3 单季综合毛利率分别为41.5%、27.3%，46.9%，其中Q3 同比增长7.4pct，环比增长19.6pct，我们认为主要受益于湿法设备业务占比提升。根据公司互动平台数据显示，截止至三季度末，湿法部门实现收入4.52 亿元，占总收入比重迅速提升至35%。

    　　在手订单充裕，且单片式设备订单快速增长。公司整体新增订单已超过去年全年水平，其中湿法部门的目前订单已经超过8 亿，新增单片式设备订单在价值量上超过一半，其中Q3 新增订单超3.7 亿元，其中单片式设备订单约2 亿。公司已经获得28nm 全系列认证（包括湿法刻蚀、去胶、清洗、刷洗等工艺），首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，并且基于28nm 基础上向14nm 及14nm 以下制程突破，进入产能爬坡和供应链自主发展阶段。我们认为，根据公司历史订单情况，湿法设备尤其是单片式设备业务已经进入加速放量阶段，成为公司新的业绩增长点。

    　　子公司获大基金二期、中芯聚源等产业资本加持。根据公司前期公告，控股子公司至微半导体（上海）通过增资控股方式引入战略投资者，包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等，本次增资前至微科技估值为25 亿元，交易后上市公司持有至微科技股权比例从99.3407%下降至77.11%。至微科技成立以来，累计获得来自各大集成电路制造企业的湿法设备订单超过160 台，成为国内湿法设备的主要供应商之一，我们认为，此次战略投资者的引入，有助于公司于产业链相关公司进一步深度合作，显示出市场对公司未来前景的看好，并且芯晟至远参与增资，有利于激励公司管理层。

    　　公司立足高纯工艺系统布局半导体相关领域，湿法工艺设备快速发展。公司在半导体相关业务领域不断拓展，从高纯工艺系统到湿法工艺设备，今年合肥晶圆再生项目已正式量产爬坡，预计四季度开始贡献收入。后续持续加深在各领域的产能扩张及布局。我们认为，国内集成电路高景气至少持续三五年甚至更长时间，公司已形成围绕半导体产业的设备、材料、工艺三位一体的战略布局。维持2021-2023 年预测，预计净利润分别为3.02/4.21/5.24 亿元，维持买入评级。

    　　风险提示：清洗设备订单或收入确认不及预期等