事件

    　　公司发布2021 年三季报，前三季度实现营收12.83 亿元，同比增长68.71%；归母净利润1.88 亿元，同比增长127.96%；扣非归母净利润0.81 亿元，同比增长97.55%。其中，Q3 单季实现收入3.62 亿元，同比增长51.68%；归母净利润0.38 亿元，同比下滑27.72%；扣非归母净利润0.38 亿元，同比增长143.76%。收入增长主要是集成电路产业景气带来高纯工艺系统业务及半导体清洗设备业务订单大幅增加所致。

    　　点评

    　　毛利率与研发费用率同比提升，非经常性损益导致Q2 归母净利下滑Q3 单季毛利率为46.89%，较去年同期提升7.42 个百分点，带动前三季度毛利率较上半年提升4.52 个百分点至35.39%。Q3 单季研发费用为0.22 亿元，同比增长100%，占收入比重为5.96%，较去年同期提升1.33 个百分点。Q3 非经常性损益项目金额为-17.6 万元，而去年同期为3663.6 万元，导致归母净利润同比下滑27.72%。从费用率来看，销售费用、管理费用、财务费用分别较去年同期提升0.62 个百分点、降低0.58 个百分点、降低1.97 个百分点。受益于订单增长，Q3 末存货较上半年末增加3.57 亿元。

    　　半导体湿法清洗设备又拓展新客户，高阶工艺设备已获取正式订单公司能提供到28nm 节点全部湿法工艺，槽式设备及单片式设备均能满足8-12 寸晶圆制造的湿法工艺需求，已切入中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等一线用户，今年上半年又开拓了绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等新客户。在技术储备上，公司持续开发符合高阶工艺应用的设备（如多反应腔、18 腔等），在14nm-7nm技术方面已接到4 台订单，预计将于2022 年交至客户产线进行验证。

    　　上半年湿法设备新增订单4.3 亿元，达到去年全年湿法设备订单的85%；其中，单片设备新增订单2 亿元，下半年将有8 台12 寸单片设备交付到中芯国际、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。

    　　大基金二期拟入股子公司至微科技，湿法清洗设备发展有望提速大基金二期、国有企业混改基金、上海半导体装备材料基金等多家机构拟向至纯科技控股子公司至微科技合计增资4.2 亿元，本次增资及股权转让完成后，至纯科技持股降至77.11%，仍为控股股东。子公司至微科技是承载至纯科技湿法设备研发和产业化的主体，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160 台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。引入战略投资者有助于双方形成以股权为纽带的战略合作关系，也有利于开拓新客户以及进一步寻求产业合作机会。

    　　盈利预测

    　　我们预计公司2021/2022/2023 年归母净利润分别为2.83 亿元/3.64 亿元/4.32 亿元，增速分别为8.5%/28.8%/18.7%，对应当前股价的PE 分别为　　53x/41x/35x。公司通过高纯工艺系统起家，和半导体一线厂商建立了良好合作关系，湿法清洗设备和高纯工艺系统业务有望实现协同发展。

    　　未来随着清洗设备收入占比不断提升，公司估值也有望得到提升。在我国半导体产业面临外部打压背景下，国产替代是行业发展趋势，我们看好公司湿法设备成长性。未来六个月内，维持“买入”评级。

    　　风险提示

    　　新产品拓展不及预期；行业竞争加剧；下游需求不及预期。