公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为4.2亿元，股权转让涉及金额2.32亿元。

    　　本次交易完成前，公司持有至微科技的股份比例为99.34%，本次交易完成后，公司持有至微科技的股份比例为77.11%。

    　　点评：

    　　至微科技为公司湿法设备主体，产业基金增资助力加速发展至微科技是公司湿法设备研发和产业化的主体，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。此次增资方包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等，涵盖国内顶级半导体产业基金，一方面是对公司清洗设备的肯定，另一方面也有助于双方形成以股权为纽带的战略合作关系，加强产业合作，加速公司设备的导入。同时，此次增资方之一芯晟至远执行事务合伙人为公司高管陆磊先生，参与此次增资也有利于激励公司管理层积极投入公司业务发展。

    　　半导体业务进入快车道，先进湿法清洗设备持续获得验证后正式订单清洗设备目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证。下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到中芯、华虹等主流客户产线。更先进14nm-7nm技术世代接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。

    　　同时晶圆再生项目7月已正式量产，有望在2021年贡献2个月度产值。

    　　盈利预测与评级

    　　维持对公司的盈利预测，预计公司2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元，看好公司半导体清洗设备的持续放量，维持“增持”评级。

    　　风险提示

    　　高纯系统订单不达预期，清洗设备基地进展放缓，下游需求不达预期。