事件：公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为4.2 亿元，股权转让涉及金额2.32 亿元。本次增资的同时，公司将持有的至微科技对应本次增资4.2 亿元后的7.95%的股权以2.32 亿元转让给远致星火。本次交易完成后，公司持有至微科技的股份将从99.34%降低至 77.11%。

    大基金二期入股子公司，清洗设备有望加速发展：公司子公司至微科技通过增资扩股引入了包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等股东，此次战投股东名单涵盖了国内顶级的半导体投资基金，表明了市场对于公司未来发展前景的看好。通过此次增资，公司不仅增强了资金实力，还有利于公司与国内头部半导体公司加强产业合作，公司半导体清洗设备发展有望加速。

    半年报业绩符合预期，新增订单饱满：21H1，公司业绩大幅增长，主要由于半导体行业景气导致的主营业务订单大幅增加。单看Q2 营收6.89 亿元，同比增长68.87%，环比增长198.27%。毛利率及净利率分别-3.01pct/+10.68pct，系随着公司业务体量增长，增加了销售费用（+70.44%））、管理费用（+64.46%）及研发投入（+35.83%）。截至报告期末，公司整体业务新增订单达到17.2 亿元，达到去年全年新增订单的88%。

    湿法设备发展迅速，再生晶圆前景可期：根据公司公告，上半年新增订单中整个半导体板块新增订单14.2 亿元，其中湿法设备新增订单4.3 亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的85%，其中单片设备新增订单2 亿元。目前市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主，而国内厂商的市场占比在逐年上升。根据公告，公司已经具备生产8-12 寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，目前已可以提供28nm 节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，21H2 将有7 台套12 寸槽式设备和8 台套12 寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线；14nm~7nm技术世代已接到4 台套机台多个工艺的正式订单，将于2022 年交付至客户产线验证。再生晶圆方面，据SEMI 预测， 2021 年再生晶圆市场规模会扩大到6.33 亿美元。目前硅片正片大厂19~20 年并无大规模扩产动作，供应有限。我们认为公司再生晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升，成为公司新的业绩增长点。根据公告，公司合肥项目将是国内第1 条14nm 的12 寸晶圆再生产线，项目建成后，将形成年产168 万片晶圆再生和120 万件半导体零部件再生产能。已于2021 年7 月正式量产，产能爬坡后有望在2021 年度贡献2 个月度的产值。

    投资建议：我们预计公司2021 年~2023 年的收入分别为19.84 亿元、27.18 亿元、36.69 亿元，归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元、5.10 亿元、6.73 亿元，对应EPS 分别为1.17 元、1.60 元、2.11 元，维持“买入-A”投资评级。

    风险提示：先进制程工艺突破不达预期的风险；进口零部件渠道受阻的风险；出货放量不达预期的风险；股东解禁减持的风险。