投资要点：

    　　公司公告：1）发布2021 半年报：实现收入9.2 亿元，同比增长76.5%，归母净利润1.5 亿元，同比增长395.5%，扣非归母净利润4264 万元，同比增长69.1%。其中二季度单季实现收入6.89 亿元，同比及环比增速分别为69%、198%，归母净利润7553 万元，同比增长67.1%，环比增长0.8%。

    　　符合预期。2）发布可转债预案：计划公开发行不超过11 亿元的可转换公司债券，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行贷款。

    　　随着湿法设备业务放量，收入快速增长，在手订单丰富；受费用项拖累，子公司波汇科技亏损，影响上半年利润。12 寸单片设备是事业部持续快速增长的重中之重，目前公司已可以提供28nm 节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，下半年将有7 台套12 寸槽式设备和8 台套12 寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。目前公司在手订单丰富，新增订单达17.2 亿元，已经达去年全年88%，其中半导体相关的14.2 亿元，湿法设备4.3 亿元，包括2 亿元单片设备。上半年公司综合毛利率31%，同比减少3.2pcts，其中21Q1、21Q2 毛利率分别为41.5%、27.3%，主要系部分一次性研发支出及验证等费用影响，预计后期随着产品批量供货后，毛利率有望回升。波汇科技业务具有较强的季节性，上半年由于费用方面的快速增长等因素，导致亏损接近2500 万元，对公司利润影响较为严重，我们下半年尤其是四季度影响逐步消除。

    　　清洗设备是有望实现国产化最快突破的设备领域之一。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂及重要。目前供应商主要为日本及欧美企业为主，国内约有三家公司能够提供中高阶湿法制程设备，包括至纯科技、北方华创及盛美股份，国产份额有望快速提升。

    　　公司产品包括槽式设备（槽数量按需配置）及单片机设备（8~12 反应腔）均可以提供8~12 寸晶圆制造的湿法工艺设备。公司在上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司已经完成 28nm 全系列湿法设备的认证；获得较多国内一线客户认可，包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。

    　　通过可转债募集资金，进一步拓展湿法工艺。可转债项目中，单片湿法项目计划共投资5.2 亿元，通过转债投资2.8 亿元，至纯北方半导体研发生产中心项目计划共投资3.3 亿元，通过转债投资1.3 亿元，两个项目主要是持续研发14nm 及以下制程清洗设备产品，降低公司半导体零部件采购成本，提高整机设备及其零部件协同发展能力，并且扩大产能，缓解压力。集成电路大宗气体供应站项目计划投资3.9 亿元，通过转债投资3.6 亿元，该项目有助于公司丰富公司的业务种类，为公司创造新的业务增长点。

    　　公司立足高纯工艺系统布局半导体相关领域，湿法工艺设备快速发展。公司在半导体相关业务领域不断拓展，从高纯工艺系统到湿法工艺设备，今年合肥晶圆再生项目已正式量产爬坡，预计四季度开始贡献收入。后续持续加深在各领域的产能扩张及布局。我们认为，国内集成电路高景气至少持续三五年甚至更长时间，公司已形成围绕半导体产业的设备、材料、工艺三位一体的战略布局。新增2023年盈利预测，下调2021-2022 年预测（原预测4.31、7.58 亿元），预计2021-2023 年净利润分别为3.02/4.21/5.24 亿元。考虑到公司单片式湿法设备2021 年下半年开始陆续交付，设备单价较高下，后续收入及利润增长加速，参考目前半导体设备相关公司北方华创、芯源微、中微公司、华峰测控2021年wind 一致预期，平均PE 约179X，上调公司至“买入”评级。