核心观点：

    公司发布2020 年年报及2021Q1 季报。根据公司20 年年报，20 年公司收入13.97 亿元，同比增加41.63%，归于上市公司股东的净利润2.61 亿元，同比增加136.36%，新增订单19.6 亿元，同比增加38%；根据公司21Q1 季报，公司21 年Q1 收入2.31 亿元，同比增加104.13%，归于上市公司股东净利润约0.75 亿元，同比扭亏。

    半导体设备20 年收入2.18 亿元，同比增加166.77%。根据公司年报，半导体设备收入继续高速增长，毛利率29.85%，比去年同期下降2.23pct，单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过30 台，半导体板块20 年新增订单13.8 亿元，其中湿法设备新增订单5.3 亿元，同比增加211%，湿法设备中单片设备新增订单3.66 亿元，21 年有望继续放量并贡献收入。目前公司的湿法设备有槽式和单片式（8~12 反应腔）两种，可以提供到28 纳米节点全部湿法工艺，已经切入中芯国际、华虹集团等一线用户，单片式湿法设备已获得国内重要用户多个订单。

    高纯工艺系统公司竞争力强，收入增速较高。高纯工艺集成系统2020年收入8.63 亿元，同比增长35.53%，毛利率31.76%，比去年同期增加5.32pct。高纯工艺系统应用广泛，根据公司20 年年报，高纯工艺系统年度制造生产量环比增长超过50%，公司高纯工艺系统已经切入一线用户，包括中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储等。

    投资建议：预计2021-2023 年收入分别为19.0/23.1/27.2 亿元，对应PS 分别为5.0/4.1/3.5 倍；EPS 分别为0.99/1.29/1.59 元/股。给予公司合理价值43.82 元/股，对应2021 年PS 估值约7x，维持公司“买入”评级。

    风险提示：半导体行业投资进入不及预期；新业务推进不及预期；行业竞争加剧导致毛利率下滑。