事件：

    　　公司发布2020年年报及2021年一季报，2020年实现营收13.97亿元，同比增长41.63%，归母净利润2.61亿元，同比增长136.36%；2021Q1实现营收2.31亿元，同比增长104.13%；归母净利润0.75亿元，去年同期亏损0.15亿元。

    　　投资要点：

    　　2020年净利润大幅增长，在手订单充足，后续增长动能充足2020年净利润同比增长136.36%，在手订单逐步释放将继续推动后续业绩快速增长。 2020年半导体板块营收同比增长101.17%，新增订单13.6亿元，其中湿法设备新增订单5.3亿元，较上年同期增加211%，湿法设备订单中单片设备新增订单3.66亿元。1Q21合同负债2.01亿元，较2020年底1.71亿元同比增长18%，充足订单为后续业绩增长提供了保障。

    　　湿法设备切入一线用户，多类型单片湿法设备获订单公司是提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商，并拥有14nm的技术储备，能够覆盖晶圆制造中包括先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。2020年下半年开始订单呈现出井喷状态，单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超30台。目前公司湿法设备已经切入一线用户，包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等，单片湿法设备获得国内重要用户的多个订单，高温硫酸、晶背清洗、后段去胶、长膜前单片机型入选，进一步填补国产装备在湿法清洗领域的空白。14nm以及7nm工艺需求设备预期2022年可以提供给客户验证。

    　　盈利预测

    　　预计公司2021-2023年净利润为3.10、4.00、4.53亿元，维持增持评级。

    　　风险提示

    　　高纯系统订单不达预期，清洗设备基地进展放缓，下游需求不达预期。