事件：公司于7 月6 日发布公告，投资1 亿元作为有限合伙人认购聚源芯星的基金份额，间接认购中芯国际科创版首发股票。

    　　投资要点

    中芯国际预计7 月科创板上市，多家材料硅片及核心设备供应商参与战略配售。本次发行初始战略配售的股票数量为 84281 万股，占初始发行数量的 50%。战略投资者包括半导体材料——上海新阳；大硅片——中环股份、上海新昇，目前国内仅此两家具备少量12 英寸硅片供应能力；刻蚀设备——中微公司；及清洗设备——盛美半导体和至纯科技。

    　　我们认为，此次战略配售将至纯科技与中芯国际深入绑定，有利于建立稳定合作关系，未来公司在共同研发、投标上具备明显优势；同时中芯国际上市后将募资扩产，至纯科技也有望加速获得订单。

    国内高纯工艺系统龙头，后发进军半导体清洗设备业务。至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务，2019 年收入分别为6.37亿元和0.82 亿元，占比总收入的65%和8%。其中，半导体清洗设备业务，虽然起步稍晚，但市场空间大、增速快，是公司的最大业务亮点。

    　　2015-2019 年公司收入由2.08 亿元增长至9.86 亿元，CAGR 达48%，归母净利润从1770 万增长至1.1 亿，CAGR 达57%。

    看好清洗设备：赛道好空间大，容易率先实现大部分国产化。目前清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约 5%-6%，较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。但随着晶圆制程工艺的复杂化，清洗机的占比整线的比例未来有望提高至10%。

    　　同时由于清洗机的技术门槛相对较低，我们认为比较容易率先实现全面国产化。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20 亿美元，目前除长江存储之外的各家晶圆厂，清洗机的国产化率均在10%以内，假设到2023 年清洗机的国产化率可达40%-50%，预计国产设备的每年的市场空间在 40-70 亿元。

    清洗设备业务后发先至，国内龙头地位稳固。公司通过买断日本、韩国技术，引入台湾资深管理团队，迅速实现了技术积累与业务扩张。目前公司已与中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户达成稳定合作，2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7 亿元。目前公司启东一期生产基地全面建成，已达到48 套/年的产能，一二期共规划96 套/年，公司于2019年12 月发行可转债，募资3.56 亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022 年达产，预计初步可贡献最高达9 亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020 到2022 年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0 亿元。

    　　二季度公司单片清洗和槽式清洗设备出货超10 台，上半年总出货量预计10-15 台，全年高增长确定。公司交付ICRD 的12 寸单片清洗设备已获客户认可，其晶圆表面颗粒清洗能力及每小时产出量可以支持到14nm 以下的工艺技术节点，达业界一流水平。公司产品线较为完善，产品覆盖面与技术水平均已具备国际竞争实力。

    盈利预测与投资评级：我们预计公司2020-2022 年的净利润分别为1.5亿、2.1 亿、2.8 亿，当前股价对应动态PE 分别为82 倍、59 倍、45 倍，在可比公司中处于最低位置，我们看好公司半导体清洗设备业务的发展，在估值上存在提升空间，维持“增持”评级。

    风险提示：半导体业务进展不及预期；毛利率波动风险。