核心观点：

    19 年业绩快速增长、利润率提升明显，订单饱满。公司19 年收入9.86亿元，同比增长46.3%，归母净利润1.10 亿元，同比增长239.9%。19 年公司毛利率34.35%、净利率11.19%，提升明显，主要在于并购的波汇科技的高利润率、以及半导体业务毛利率明显提升。根据年报，19 年新签订单14.2 亿元，同比增长56%；其中高纯系统/湿法设备/光电子业务新签订单8.8/1.7/3.7 亿元。20Q1 收入1.13 亿元，实现归母净利润-0.15 亿元，主要是疫情影响工程验收进度。截止2020Q1，公司存货/预收账款分别7.23/1.66 亿元，较18 年底增长74.9%/72.4%。根据公司非公开发行预案，向包括北京集成电路基金、中芯涌久、津联海河、国改基金等7 名战略投资者定向增发15 亿元，有望推动半导体业务在客户资源、上下游投资并购方面的发展机会。

    湿法设备业务进展积极，市占率有望逐步攀升。根据2019 年年报，公司已取得近40 台正式订单，已完成近20 台设备装机，包含湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等多个工艺。其中（1）包括中芯、万国、德州仪器、燕东、华润等客户已经取得重复订单；（2）增加了华虹集团 ICRD、中车、台湾力晶、湖南楚微、瀚天天成、华为等用户；（3）12 寸单片设备获得订单。2020 年公司湿法设备业务重点在大幅提高成熟机型的市占率，产能爬坡，毛利爬坡，持续投入新机型研发。

    投资建议：预计2020-2022 年收入分别为14.5/20.2/25.0 亿元，对应PS 分别为6.6/4.7/3.8 倍；EPS 分别为0.90/1.50/1.88 元/股。采用PS估值方法，参考可比公司估值，给予公司20 年9 倍PS，对应合理价值50.67 元/股。结合业绩和估值情况，继续给予公司“买入”评级。

    风险提示：半导体行业投资进入不及预期；新业务推进不及预期；行业竞争加剧导致毛利率下滑。