投资要点：

    立足高纯工艺，确立领域龙头地位。2018年，至纯科技完成的上海华力12英寸28纳米先进工艺产线的建设，验证了公司服务集成电路制造业先进工艺的技术能力，确立了公司在国内高纯工艺领域的龙头地位。高纯工艺系统的新增业务订单总额达8亿元。至纯作为在高纯工艺系统业内具有独特竞争优势的公司，在细分市场具有较强竞争实力。

    装备布局卓有成效，清洗机台利润可期。至纯科技于2017年成立独立的半导体湿法事业部，致力打造高端湿法设备制造开发平台。公司已经具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，能够覆盖包括晶圆制造、先进封装、太阳能在内多个下游行业的市场需求，公司湿法清洗设备已获得了中芯、万国、TI、燕东、华润等用户的正式订单。2018年湿法工艺设备的新增业务订单总额达到1700万美元（合人民币1.1亿元）。

    收购波汇拓展业务布局，发挥协同效应。至纯科技于2019年3月完成对波汇科技的收购，波汇科技主要业务为光传感器及相关光学元器件的研发、生产和销售，与现有业务形成协同和补充，2018-2020年承诺净利润不低于3200万元、4600万元、6600万元，通过并购进一步提高盈利能力。

    我们预计公司2020年-2022年营收14.60、19.77、24.76亿元，归母净利润2.23、3.16、3.98亿元，EPS分别为0.86、1.23、1.54元/股，对应三年PE为44、31、25倍。考虑公司未来几年增速较高，目前公司市盈率水平显著低于可比公司水平，首次覆盖给予推荐评级。

    风险提示：高纯集成系统订单不达预期；清洗设备基地建设进展放缓；清洗设备认证进程不及预期；预测假设与实际情况有差异风险。