投资逻辑

    中国大陆半导体设备行业进入黄金发展期，清洗设备成为公司第二增长曲线：目前37 亿美元市场规模的清洗设备领域还是几乎被迪恩士，拉姆研究和东京电子这些美日厂商垄断，为了提升设备国产化率，公司在2017 年进入清洗设备行业。目前至纯已经实现中高端单片和槽式清洗设备的研发，产品正在下游客户端验证，同时为了实现“三年出货200 台”的目标，公司在2019 年底发行3.56 亿可转债，加码扩增清洗设备40 台/年的产能。预计公司在2020 年订单量有望进一步翻番，清洗设备营收有望接近2.1 亿。

    高纯工艺系统进入“提质”阶段，并购波汇科技再添增长新动能：目前高纯工艺还是公司的营收主力，其中快速成长的半导体领域工程占比最高，达到65%，其他光伏、医药领域项目则聚焦更多资源在高毛利的项目，实现“提质增利”。高纯工艺系统不仅受益于晶圆厂建厂潮，而且随着半导体工艺每年更新迭代，都会产生新增需求，我们预估高纯工艺系统需求达到770 亿，未来三年公司高纯系统业务也将实现30%以上的复合增长。2018 年底公司并购波汇科技，实现了向光电传感器工程业务的拓展，而且下游客户均为国家大型国企，订单充足，预计2020 年波汇业务将贡献约6600 万利润。

    疫情对于半导体设备行业影响较小，低估清洗设备新星有望迎来放量成长阶段：由于半导体设备行业具有需求相对刚性，即使受到疫情影响，也仅仅是部分产线建设进度延期，不会削减开支。公司作为清洗设备的核心标的，未来三年业绩具有高确定性和高成长性双重特点，2020 年下半年进入湿法设备的订单确认期，我们预计未来三年公司的营收分别为14.63 亿，20.56 亿和27.66 亿，同比增速达到48%/41%/35%，获利同比成长分别为55%/67%和48%。

    　　投资建议与估值

    即使受到疫情影响，晶圆厂资本开支也并未下调，公司的清洗设备需求相对刚性，我们预估公司在2020-2022 年EPS 分别为0.54/0.90/1.34 元。采用分部估值法，给予公司未来6-12 个月目标市值为123 亿，对应目标价为48元，首次覆盖给予“买入”评级。

    　　风险提示

    行业竞争加剧；疫情导致晶圆厂投产延后订单确认低于预期；4 月13 日和4月27 日有大比例限售股解禁。