投资要点：

    公司公告：2019 年1-9 月实现收入6.12 亿元，增长91.15%，归母净利润7452 万元，同比增长172.23%，扣非后净利润5829.7 万元，同比增长125.95%，其中2019Q3 收入2.8 亿元，同比增长112.42%，归母净利润3155 万元，同比增长280.2%。符合预期。

    收入利润快速增长主要是订单增长及并表波汇科技，毛利率逐季改善。一方面波汇科技并表，公司业务新增光传感与光通信，另外一方面，公司半导体设备进入收获期，订单快速增长，公司的收入及利润大幅增长。上半年毛利率企稳回升，2019Q3 毛利率进一步提升，同比增长3.02pct，环比增长0.64pct，其中2018Q4/2019Q1/2019Q2/2019Q3 毛利率分别为23.41%/30.95%/34.33%/34.97%，我们认为，毛利率水平回升表明公司湿法半导体设备结束低价获取市场份额阶段，逐步被客户认可。

    公司发展目标为围绕先进制造领域不断进行业务延伸，如集成电路28 纳米线宽乃至更精密线宽的客户提供核心的装备、材料及产业链配套。目前公司三块业务进展顺利，主要包括高纯工艺系统、湿法工艺设备、光传感与光通信业务（波汇）。其中湿法工艺设备设计槽式设备及单片式设备（8~12 反应腔）均为8~12 寸晶圆制造的湿法工艺设备，不断推出新产品系列满足客户需求，2020 年，全球半导体对清洗设备需求将达到37 亿美元，而随着清洗工序不断增加，新建厂线增加和改进的驱动下，未来5 年市场需求呈上升趋势。

    预计2019 年国内半导体企业对清洗设备总需求400 台，新工厂投入使用后，一期产能48台，后续有望达到200 台，实现半导体清洗设备的国产替代。并且公司通过可转债募集资金3.56 亿元，在合肥布局圆再生服务，进一步拓展在半导体领域的布局。

    公司正逐步形成围绕半导体产业的设备、材料、工艺三位一体的战略布局，维持“增持”评级。立足高纯工艺业务，拓展半导体湿法设备产品，公司启东工厂已投入使用，并且通过子公司至微半导体在合肥子公司布局晶圆再生及部件清洗业务，同时业务延伸至半导体装备相关的化学品及耗材领域。维持盈利预测，预计2019-2021 年净利润分别为1.35/2.72/3.42 亿元，EPS 分别为0.52/1.05/1.32 元/股，对应PE 为46/23/18 倍。

    风险提示：半导体清洗设备订单不达预期