公司业务定位于泛半导体工艺废气治理，行业门槛高、对技术研发、工艺理解和项目经验要求高。公司2021 年4 月上市，主要为泛半导体下游客户配套工艺废气治理系统解决方案，泛半导体工艺废气成分复杂，工艺废气治理系统及设备的安全稳定直接关系到产线的产能利用率和产品良率，行业进入门槛很高，公司深耕十余年，积累了大量的优质客户资源和品牌认可度（包括京东方、华星光电、中芯国际、华虹半导体、北京集电、格科微、卓胜微、长电科技等）。公司21Q1-3 营收同比+68%至7.9 亿元，归母净利润同比+76%至0.9 亿元，经过多年研发，L/S 设备和loc-voc 设备批量生产并交付客户使用，在泛半导体应用领域持续突破，我们认为,有望成为公司未来新的利润增长点。

    　　IC 增量市场空间大，集成电路领域已成为业务新增长点，收入结构持续优化，2022 年有望持续增长。随着全球半导体产业链不断向中国大陆转移，国内在建/拟建晶圆产线投资规模逾1.5 万亿元，若按3-4 年投产，年均投资规模将达3750-5000 亿元，市场需求持续；近年来公司持续拓展集成电路领域，2021H1 集成电路领域收入占总收入比例由2020H1 的10.85%增长至43.44%，我们认为，未来公司将充分受益于国产替代下国内集成电路厂商的持续扩产。公司在手订单充足（截止2021.8.15，订单合计8.17 亿元，IC 领域快速增长至2.94 亿元），与北方华创深度合作。我们认为，随着龙头设备公司快速成长，公司也有望成为泛半导体制程附属设备行业领跑者。

    　　L/S 和LOC-VOC 设备自主研发突破，出货量持续创新高。中国大陆L/S 以及LOC-VOC 设备基本被欧美日韩垄断（主要用于制程废气处理），公司多年研发完成国产化交付，并得到泛半导体客户广泛认可，开始了从1 到n 的突破。21H1，L/S、LOC-VOC 分别交付160/51 台套（已经成功交付集成电路12 寸产线客户），出货量再创新高，两款主打设备的销售收入同比增长269%至0.66 亿元。除此之外，公司VOCs 治理核心材料也有突破，实现高分子沸石的小批量生产（沸石吸附转轮生产技术也掌握在国外企业手中，沸石吸附单元基本依赖进口），实现了从0 到1 的突破。

    　　从废液资源化利用切入化学品材料生产供应，不断研发创新。泛半导体制程过程中产生大量废有机化学品，而其中电子级PGME、PGMEA 等具有很高的经济价值，可循环利用。公司提供的剥离液回收再生系统，已实现了PGMEA 组分的在线回收再生，不仅可为客户节省危废处置费，提高其原材料的经济效益，并减少原材料采购成本，同时还可收取持续的运营服务收入。

    　　目前公司采用一次性确认收入和运营服务两种商业模式，通过打造标杆项目推进业务进展。21H1 湿电子化学品相关业务收入0.55 亿元，超20 年全年。

    　　目前公司已开始涉足湿电子化学品制造的技术及生产，我们认为，公司后续将在湿电子化学品在线循环的基础上，积极布局相关材料制备业务，形成”材料-废液-材料”业务闭环，随着布局深化未来有望成为新的业务增长点。

    　　投资建议。我们预计21-23 公司EPS 为1.33/1.94/2.90 元。可比公司22PE 65倍，22PB5.5 倍。公司已荣获上海市“专精特新”中小企业称号，我们认为，公司受益下游泛半导体高景气度，研发投入高，国产替代产品性价比高，未来前景可期，由于赛道好，增速快，结合22 年归母净利润同比增速46%，给予公司22 年45-50 倍PE，合理价值区间87.30-97.00 元，22BPS13.13元，给予公司22 年6.5-7.0 倍PB，合理价值区间85.35-91.91 元，综合考虑合理价值区间为87.30-91.91 元，首次覆盖，给予“优于大市”评级。

    　　风险提示：半导体成长周期中也有回落，新增订单不达预期。