多年大力投入半导体设备，持续突破新产品

    公司近年来集中优秀资源深耕半导体设备，膜厚量测设备率先突破，仅用一年就实现了集成式和独立式机型的双双突破。2019、2020、2021H1 半导体设备收入从700 万，跃升到6500 万，再到半年超6500 万，增长强劲。公司布局OCD 设备、电子束检测设备也已在客户验证阶段，有望发展成为半导体设备第二、第三增长点。

    晶圆检测设备壁垒极高，是建设“去A线”的关键2019 年以来，我国面临科技封锁日甚，在代表高精尖科技的半导体领域尤为突出，自主研发，建设“去A 线”势在必行。检测设备涉及到光学、电学、材料、机械等综合学科，技术壁垒极高。美国的KLA Tencor 在各类晶圆检测设备中市占率均超过50%，除此以外市场主要由应用材料及东京电子、Nano 等日本厂商掌握。 我国建设“去A 线”甚至纯国产线，晶圆检测设备是无法回避的难关。公司是国内为数不多的耕耘这一板块的公司，将承担国产化重任。据Semi 数据，2020 年全球半导体设备市场规模为711 亿美元，其中前道测试设备市场规模占8.45%，达60.1 亿美元，后道封测设备市场规模占5.4%，达38.5 亿美元。

    锂电设备产品线持续拓展，逐步进入收获期

    公司基于自身AOI 检测等技术优势，2019 年开始进入锂电设备行业，从化成分容设备、BMS 测试设备、PACK 测试设备等开始，2020 年已有8000 万收入。公司继续向上中游设备拓展，产品线覆盖度不断完善。近几年随着新能源车、电化学储能的快速发展，锂电池企业持续快速扩产，公司订单进入加速期。

    传统主业显示面板设备持续高速成长，龙头优势愈发明显公司显示面板业务除去年因为疫情原因小幅增长以外，收入始终维持40%以上高速增长。公司一方面不断突破大客户市占率持续提升；另一方面向上游核心零部件延伸，预计后续仍将保持高速增长态势。

    投资建议

    公司作为国内稀缺的检测设备企业，是半导体设备国产化的主力军，有望率先受益国内晶圆线建设浪潮。此外，公司显示面板检测设备、锂电设备也在高速增长中。预计公司21/22/23 年净利润2.96 亿、5.99 亿、11.03 亿，对应 P/E 为 66x、32x、18x。考虑到分部估值，我们给予公司2022 年目标市值329 亿元，首次覆盖，给予“推荐”评级。

    风险提示

    半导体设备技术研发不及预期风险；客户过于集中风险；行业竞争加剧风险