公司为国内综合性的高端半导体设备平台型企业，拥有国内公司中品类最全的半导体设备。由于下游市场需求强劲，半导体设备及电子元器件业务持续增长，拉动业绩增长显著。公司有望持续开展先进工艺设备研发，长期提升国产替代竞争力，成长空间广阔，龙头地位稳固，我们长期看好其前景，上调至“买入”评级。
21 年营收96.83 亿元，同比+59.90%，22Q1 营收21.36 亿元，同比+50%，业绩持续高速增长。公司2021 年实现营收96.83 亿元，同比增长59.90%；归母净利润10.77 亿元，同比增长100.66%；扣非后归母净利润8.06 亿元，同比+309.45%。营收及利润继续维持高增速，主要是半导体设备、光伏设备及电子元器件等业务订单持续增加所致。单季度来看，21Q4 实现营收35.10 亿元，同比增长58.08%，环比增加36.84%；归母净利润4.19 亿元，同比+99.25%，环比增加20.40%。22Q1 实现营收21.36 亿元（业绩预告为19.9~22.8 亿元），同比增长50.04%，由于季节性特点环比下降39.15%；归母净利润2.06 亿元（业绩预告为1.97~2.19 亿元），同比增加183.18%，环比下降50.84%；毛利率44.64%，同比增加5.12pcts，环比增加7.91pcts。22Q1 公司营收及利润同比大幅增长，环比降低的原因是半导体设备行业的订单收入确认多集中在下半年。
半导体设备业务营收增长73%，受益于国产晶圆厂需求旺盛，有望持续高速增长。2021 年，公司半导体设备业务营收71.21 亿元（占比73.54%），同比增长71.39%；净利润5.73 亿元，同比增长224.98%。受全球芯片短缺、国内芯片需求旺盛等因素驱动，下游集成电路生产线投资意愿持续增强，公司半导体设备业务下游市场需求延续了2020 年以来的高增长态势（2020 年同比增加60.22%）。公司的集成电路装备刻蚀机、PVD、CVD、ALD、立式炉、清洗机等多款新产品进入逻辑、存储、功率、先进封装等多领域的主流产线。2022 年，得益于国内晶圆厂扩产迎来高峰期，中芯国际、华虹集团、长鑫存储等均加大扩产力度，同时受益于国产替代，国产设备份额有望在未来两年新厂建设过程中迎来阶跃式提升，我们预计未来公司的半导体设备业务仍将保持高速增长。
电子元器件业务毛利率接近70%，营收增长近50%，增长态势有望延续，市场地位日益巩固。2021 年，公司电子元器件业务营收17.15 亿元（占比17.71%），同比增长47.22%；净利润5.98 亿元（占比50.12%），同比增长54.82%；毛利率68.90%，同比增加2.75pcts。电子元器件虽收入占比较小，但利润占比较高，主要原因是部分电子元器件应用于精密仪器仪表、自动控制等高精尖特种行业领域。2021 年公司高精密电阻、电容等多项新产品实现客户导入，市场地位日益巩固。我们预计2022 年公司精密电子元器件业务受下游高精尖应用需求拉动，有望延续增长态势。公司真空设备及新能源锂电设备业务营收8.28 亿元（占比8.55%），同比增长15.86%；净利润0.59 亿元（占比4.95%），同比降低13.71%。2021 年新能源光伏产业技术迭代更新加快，但是受上游硅材料供应紧张等因素影响，国内产能扩建增速放缓，设备投资支出趋于平稳，因此营收增长放缓。2022 年下游真空电子、新能源、新材料市场发展呈现稳中有升态势，新能源光伏设备和锂电设备有望受益于“碳中和”需求实现稳定增长。
研发投入翻倍增长，布局高端工艺设备开发。公司2021 年研发费用12.97 亿元，同比增加93.58%，研发费用率13.39%，同比增加2.33pcts；研发投入28.92亿元，同比增长79.85%，研发投入占营收比重约29.87%，同比提高3.31pcts。
22Q1 公司研发费用2.95 亿元，同比增长112.23%，研发费用率13.81%，同 比增加4.04pcts。公司持续保持高强度的研发投入力度，目的是推进高端集成电路工艺设备开发，加快新产品开发，逐步缩小与国际先进水平的差距。公司在高真空、高压、高温热处理技术和高精密电子元器件工艺技术等核心技术研发不断深化，有望持续受益半导体、新材料、新能源领域需求。
风险因素：下游需求不及预期；公司设备产业化进度不及预期；公司技术研发不及预期。
盈利预测、估值及评级：公司在手订单充足，后续有望持续受益于国内半导体、新材料、新能源领域的下游需求。考虑到国内晶圆厂建设加快，且国产化份额在未来两年有望实现快速阶跃式提升，我们上调公司2022~2023 年营收预测至143.99/191.11 亿元（原预测125.71/153.91 亿元），新增2024 年营收预测246.75亿元，上调公司2022~2023 年净利润预测至16.41/22.33 亿元（原预测12.25/15.72 亿元），新增2024 年净利润预测30.62 亿元，对应2022~2024 年EPS 预测3.11/4.24/5.81 元。由于公司为国内半导体设备龙头公司，受益晶圆厂景气扩产和设备国产化趋势，业绩成长确定性较高，公司过去三年当年PS 平均估值为13 倍，目前可比公司中微公司、盛美上海PS 估值分别为14 倍、12倍，参考公司历史和可比公司估值，给予公司2022 年12 倍PS，给予目标价328 元，上调至“买入”评级。