本报告导读：

    　　公司一季度业绩高增，在手订单饱满，作为平台型设备公司，未来将深度受益国产化产线的全面协同整合。

    　　投资要点：

    　　维持“增持” 评级，下调目标价至373.01 元。公司作为平台型设备公司，深度受益全面国产化，预测2022-2024 年EPS 为2.76、4.14、5.44 元（原预测值2022-2023 年为2.81、3.57 元），2022-2024 年收入为140.41、186.75、240.90 亿元（原预测值2022-2023 年为136.27、177.49 亿元）。考虑到公司高毛利率IC 设备快速放量，给予2022 年14 倍PS，下调目标价至373.01 元，维持“增持”评级。

    　　一季度业绩高速增长超预期，在手订单饱满奠定全年增长基调。22年Q1 营收21.36 亿元，YOY+50.04%； 归母净利润2.06 亿元，YOY+183.18%；毛利率44.6%，同比+5.1pct。公司存货97.1 亿元，YOY+63.5%；合同负债50.9 亿元，YOY+13.3%，反映公司在手订单饱满，全年业绩有望保持高增长。

    　　设备国产化从单点突破迈向产线协同整合，公司作为平台型设备公司，将深度受益。国产化产线进展顺利，对于成熟制程和成熟产品，正逐步加强工艺制造、机台设备等全环节协作。公司刻蚀机、PVD、CVD、ALD、立式炉、清洗机等多款新产品进入主流产线，有望在下一阶段向工艺平台类公司升级，迈向全面和深度国产化。

    　　第三代半导体和Mini LED持续升温，带动泛半导体业务高增长。公司光伏TOPCon 关键工艺设备批量供应市场，Mini/Micro LED 工艺设备进入主流产线，第三代半导体设备实现批量销售。

    　　风险提示。本土晶圆产线扩产进度不及预期；核心零部件采购受限。