芯片制造关键设备再突破！离子注入机实现全谱系产品国产化

http://chaguwang.cn 2021-03-17 13:09 芯片概念板块热点狙击

安控科技

2.41-0.41%

智光电气

7.04-0.56%

博威合金

11.79+3.69%

经纬辉开

8.77-1.57%

淳中科技

36.68+0.77%

中国电子科技集团有限公司17日对外公布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

出处：中国证券网
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