来源 :连城数控2023-03-21
近日，我司半导体晶体事业部首次研制的液相法碳化硅长晶炉顺利下线，经检验各项性能达到预期目标。该产品的成功研制，标志着公司在新型碳化硅长晶工艺设备的探索中取得了重大进步。
先进技术加持
以全新性能引领行业
用可靠品质缔造标杆
近年以来，连城数控半导体晶体事业部坚定不移的走以市场和客户为导向的产业升级产品高端路线，依托公司多个技术研发中心，加大高端产品研发力度，不断抢占高端市场。
该产品的成功研制，标志着公司在新型碳化硅长晶工艺设备的探索中取得了重大进步。使公司今后在液相法碳化硅长晶设备的产业化道路中占得先机，也是连城数控半导体晶体事业部继一季度中标某重点客户190台碳化硅感应炉之后，取得的又一次重大突破。标志着连城数控碳化硅感应炉，电阻炉，管式合成炉，腔体合成炉全系列碳化硅炉开发成功并实现了批量销售。
■液相炉装配调试完成成功下线
据半导体晶体事业部总经理胡博士介绍，液相法碳化硅长晶基本原理是碳（溶质）被溶解在硅和助溶剂组成的高温液体（溶剂）中，碳（溶质）因过饱和而在碳化硅籽晶处析出，同时因晶格库伦场的作用携带出硅原子，实现碳化硅晶体的生长。具有生长温度低而结晶质量高、生长速度快而容易长厚、便于扩径而容易长大和容易实现Al掺杂而获得p型低阻衬底等优势。