来源 :金融界2023-11-30
金融界2023年11月30日消息，据国家知识产权局公告，昆山东威科技股份有限公司取得一项名为“一种磁控溅射双面镀膜系统“，授权公告号CN220099166U，申请日期为2023年6月。
专利摘要显示，该系统具有进行镀膜的工作状态和停止镀膜的停机状态，当系统位于工作状态时，第一驱动组件和第二驱动组件分别驱动镀膜辊结构和溅射磁极结构进入到壳体的腔体内，以进行镀膜操作，当系统位于需要更换阴极靶材或者将膜材进行取装的停止镀膜的停机状态下，利用第一驱动组件驱动溅射磁极结构退出腔体，以对溅射磁极结构上的阴极靶材进行更换，也可以利用第二驱动组件驱动镀膜辊结构退出腔体，以对膜材进行取装。这一设计可提高镀膜操作的便捷性。