京仪装备获中国仪器仪表学会科技奖

　　

　　2024年中国仪器仪表学会科学技术奖颁奖现场

　　近日，中国仪器仪表学会公布2024年中国仪器仪表学会科学技术奖获奖名单，京仪装备“高端芯片制造专用温控装置的关键技术及产业化应用”项目荣获“科技进步二等奖”。此次共评选出一等奖23项，二等奖53项，三等奖21项；创新团队2支，青年科技奖8人；国际科学技术合作奖1人。

　　高端芯片制造过程复杂、难度大。在高端芯片的制造过程中，温控性能对高端芯片制造的整体性能发挥至关重要。“高端芯片制造专用温控装置的关键技术及产业化应用”项目主要研究温控装置的先进智能温度控制算法，实现对系统的精确控温，同时实现节能控制。据悉，高端芯片制造专用温控装置产品批量应用到高端芯片制造产线后，取得了较好的社会、经济效益。

　　中国仪器仪表学会科学技术奖是经国家科学技术部批准设立的科学技术奖项，该奖项主要面向全国仪器仪表领域，是国内仪器仪表学科和行业公认的权威奖项。其中，科技进步奖以技术具有原创性、成果具有独创性；技术水平国际先进、国内领先；具有明显的技术进步作用、经济效益明显、技术经济综合指标优越等作为评审标准。

　　此次评选出的重大科技成果项目促进了仪器仪表科学技术的进步与发展，提高了仪器仪表科研、产品和生产力水平。